中古 KOMATSU G20K2-1 #9095922 を販売中

KOMATSU G20K2-1ウェハステッパーは、ウェットエッチング工程での信頼性の高い動作を可能にする精密機械です。KOMATSU G 20 K 2-1はフォトリソグラフィ工程専用の300mm工具です。トップマウントバーンボックス、サブオーバーン、アッパーリフトプレートを備えており、ウェットエッチング工程での精度を最大化するように特別に設計されています。サブオーバーンは完全な温度と化学環境を提供し、厳密に制御された均一なエッチング処理を可能にします。G20K2-1は自動ストロボ制御装置を使用してウェーハの厚さに基づいて露出時間を自動的に調整し、効率的かつ正確なウェーハ処理を可能にします。その± 12 μ mの解像度は、タイトな寸法公差で一貫した結果を生み出し、その位置登録装置は高い精度を提供します。これに加えて、高度なマイクロ負荷機構により、より高い精度と位置安定性が向上し、最終ウェハの品質向上に役立ちます。G 20 K 2-1は、洗練された完全に均一な表面を生成するウェットエッチング処理を利用しています。3レベルのマスキングプロセスと組み合わせると、これは非常に正確なレジスタと寸法制御を提供します。さらに、クローズドループのバックグラウンドオートフォーカスシステムは、焦点ドライブを制御して、画像が常に正確に焦点を合わせられるようにするのに効果的です。KOMATSU G20K2-1には、用途に適した様々な機能があります。例えば、高度なフォトパワーユニットは露出時間を短縮し、ウェーハの摩擦摩耗を低減します。一方、ウェーハチャックの回転補正と安全なローディングマシンは、ウェーハの完全性と精度を維持するのに役立ちます。さらに、統合されたクリーニングアームにより、破片やダウンタイムを最小限に抑えることができます。全体として、KOMATSU G 20 K 2-1ウェハステッパーは、フォトリソグラフィープロセスに最適な信頼性と精密な機械です。その高度な機能により、効率的かつ正確なウェーハ処理が可能になり、寸法精度が向上し、ダウンタイムを最小限に抑えた高品質の最終製品を保証します。