中古 KOMATSU G20K2-1 #9095919 を販売中

コマツG20K2-1は、半導体加工に使用されるウェハステッパーです。高精度で高性能なウェーハステッパー操作用に設計された最先端の機器です。システムは、機械ユニット、光学機械、ステップ調整ツール、および制御資産の4つの主要コンポーネントで構成されています。マシンモデルはXYステージ、三相ダイレクトドライブモーター、ビーム、真空チャックで構成されています。XYステージは、ウェーハを配置し、ビームが正確な位置に移動し、ステッパーの照明装置にウェーハを露出させることができる大きなプラットフォームです。三相ダイレクトドライブモータは、ビームの速度を正確に制御することができ、振動や速度の変動による欠陥を低減するのに役立ちます。ビームと真空チャックは、露出プロセス中にウェーハを固定します。KOMATSU G 20 K 2-1の光学系は、X方向とY方向の2つの独立したカメラで構成されています。ウェーハ上の最小の特徴の画像を正確にキャプチャし、各特徴の正確な座標をステッパーに提供するように設計されており、目的のパターンを高精度で印刷することができます。さらに、露出したウェーハに最適な画像条件を確保するために調整可能な3つの異なる光源で構成された照明装置を備えています。ステップ調整ツール（Step Adjustment Tool of G20K2-1）を使用すると、ステッパーの位置とフォーカスをすばやく微調整し、ウェーハに希望のパターンを正確に印刷することができます。このアセットにより、印刷されたパターンがフィーチャー座標に正確に揃えられ、所望の効果が得られます。最後に、G 20 K 2-1の制御モデルはCPUとモニターで構成されています。CPUはステッパーのさまざまなコンポーネントと機能を管理し、モニターはリアルタイムで画像処理を表示するために使用できます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、ステッパーのパラメータや設定を簡単に制御できます。結論として、コマツG20K2-1は、高精度で高性能な動作を実現するために設計された最先端のウェーハステッパーです。このツールは、ウェーハ上で定義されたパターンを正確かつ迅速に生成できる4つの主要コンポーネントで構成されています。