中古 KMS Vision #9223591 を販売中

KMS Visionは、半導体デバイス製造プロセスにおける高い歩留まりと光学性能を可能にする先進的なウェーハステッパーです。パターンエッチングのために、ウエハとマスクを正確にアライメントできます。このシステムは、ウェーハ上の完璧な画像のための分光イメージング技術を備えた高度なリソグラフィーソリューションを利用しており、独自のオーバーサンプリング技術を使用して、リソグラフィーステップの精度と再現性を向上させています。ビジョンシステムは、ステッパーと補助システムの2つの主要なコンポーネントで構成されています。ステッパーは金属と精密リニアガイドの構造プラットフォームで、光学要素、ステージ、フォトマスクが取り付けられています。ステッパーは、基板上にフォトマスクを配置するためのコンポーネントへの正確な位置制御、正確なアライメント、および高精度でウェーハ上のパターンの再現性を提供します。補助システムには、アライメントユニット、照明器、カメラが含まれます。カメラは、フォトマスクのピクセルを分析し、目的の機能を識別するために調整可能であり、アライメントユニットは、ユーザーが迅速かつ正確に複数の機能を調整することができます。照明器はフォトマスクを正確に照らし、アライメントとパターニングのための明るい光源を提供します。KMS Visionのこの高度なウェーハステッパーは、分光イメージング、ハイブリッドウェーハマッピング、およびより高い生産速度と精度のための高度なリソグラフィーシステムなどのユニークな機能を備えています。高精度の精密アライメント機能により、フォトマスクの特徴を1ミクロンまで正確にパターン化することができ、0。2ミクロンの光学分解能により、同様の製品上のエッジが得られます。超高解像度の位置決め機能により、ウェーハの最小領域にマスクを正確に配置することができ、歩留まりが向上します。ビジョンはまた、照明の複数のレベルを可能にする4Xの驚くべきスポットサイズの変化を提供しています。高度な制御システムは、光学性能を向上させるためのより良い焦点を達成するためにパターンを最適化することができます。さらに、ダイナミックシングルレンズ補正により、複数の露光目的に幅広い光学補正オプションを提供し、露光前に焦点外パターンを検出できるため、収率が高く、光学性能が向上します。全体として、KMS Visionの高度な高速ウェーハステッパーは、スループットとパフォーマンスが不可欠な高精度および高歩留まり基板製造作業に最適です。