中古 KARL SUSS / MICROTEC 1000W #189541 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC 1000Wは、デジタルリソグラフィ加工に使用されるウェハステッパーです。それは高度な技術環境での中量生産のための柔軟で費用対効果の高いステッパーです。MICROTEC 1000Wは、さまざまなリソグラフィープロセスのニーズを満たすために、さまざまなハードウェアとソフトウェアオプションを備えています。それは最先端のイメージング技術のフルレンジを提供するために可変的な照明システムが付いている改良された光学装置を特色にします。KARL SUSS 1000Wには自動フォーカシングユニットが装備されており、プロセスの精度と信頼性を維持することができます。この機能は、ステッパーが自動的にフォーカスを調整して解像度を維持できるため、より大きなウェハを処理する場合に特に便利です。1000Wは、2D外部光学指向リソグラフィ（ODL）やマスクレス接触リソグラフィ（MCL）など、幅広い先進プロセスをサポートするように設計されています。ステッパーはまた、UV投影技術を使用して3Dリソグラフィを実行することができ、より高いスループットでより小さな機能を可能にします。また、KARL SUSS/MICROTEC 1000Wにはユーザーフレンドリーな制御インターフェースが装備されており、機械の管理と最適化が容易に行えます。内蔵のSEMS解析ソフトウェアは、プロセスパラメータのリアルタイム監視を提供し、ユーザーがエラーの原因を特定して排除することができます。再現性と正確な処理を確保するため、MICROTEC 1000Wはリアルタイムオーバーレイ測定ツールなどのオプションの機能強化を提供します。このアセットには、処理される基板の種類に応じて露出パラメータを調整する自動調整機能も含まれているため、頻繁な校正手順が不要です。全体として、KARL SUSS 1000Wは、高度なリソグラフィ用途向けの効率的で信頼性の高いウェハステッパーであり、幅広いイメージング技術とシームレスなプロセス制御を提供します。また、正確で再現性のある結果を保証するためにさまざまなオプションが装備されているため、高度なマイクロエレクトロニクス部品の大量生産に最適です。