中古 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3 #9380735 を販売中
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INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3ウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用される高精度機械です。フォトリソグラフィープロセスを利用して、ウェーハの表面にパターンを転送します。ステッパーは50ミクロン以下の特徴サイズを実現し、ナノメートルスケールの電子部品の製造に最適です。MK3の中心には、イメージング機器があります。このシステムは、光源、レンズユニット、およびウェーハに光を集中させるビームシェーピング技術で構成されています。イメージングマシンは、マスクからウェーハに所望のパターンを正確に再現することができます。また、光の強度とビームサイズの分布を制御して、目的の機能を生成します。ウェーハステッパーには精密モーションコントロールツールも装備されており、リソグラフィーパターンがウェーハに正確に配置されています。モーションアセットは、3軸モーター制御を備えており、3次元空間でウェーハを正確に動かすことができます。インサートの速度、加速度、減速も正確に制御できます。さらに、ウェーハステッパーにはいくつかの安全機能が組み込まれています。これには、汚染制御モデルが含まれており、粒子レベルを低減してクリーンで信頼性の高い生産を保証します。プログラマブルロジックコントローラ(PLC)は、潜在的な機械の故障を防ぐために装置を監視するために使用されます。PLCは、動作しない期間にウェーハステッパーの動作を制御するためにも使用され、環境条件やシステム状態への自動応答を可能にします。総合的に言えば、INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3は、高品質の半導体コンポーネントを製造するために設計された信頼性の高い正確なウェーハステッパーです。これは、正確かつ正確なリソグラフィとモーションコントロールを可能にする高度なイメージングおよびモーションコントロールシステムを備えています。ステッパーはまた機械の最も安全で、最も信頼できる操作を保障するために最先端の安全機能を組み込みます。
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