中古 ICOS T 102 #9154670 を販売中

ICOS T 102は、ICOS Vision Systems Corporationのウェハステッパーで、先進的な半導体リソグラフィ用途向けに特別に設計されています。半導体製造に最適な機能を多数搭載しています。機械の中心は高消滅ランプ、最適化されたレンズシステム、高分解能のデジタルサーボモーターおよびドリフトを制限し、反復性を改善するように設計されている回転段階から成っています。このマシンには、さまざまな半導体プロセスに対応するためにカスタマイズすることができるインターフェイスカード、ソフトウェア、ポジショナなどのいくつかのオプションコンポーネントも付属しています。T 102は2ビームシステムを備えており、スキャンと画像処理の速度を向上させます。2つのビームを使用して、ウェーハのさまざまな領域を同時に露出させ、スループットを向上させます。このシステムは、視野全体にわたって高品質を提供することもできます。レンズの設計により、高い精度と解像度を実現しています。ICOS T 102は、さまざまなポジショナを使用して、ウェーハをスキャンフィールド内に正確に配置します。ポジショナの主なコンポーネントは、Leveler、 Stage Rotator、およびWafer Gradient Trackerです。レベラーは精度と再現性を担当し、ステージローテータはウェーハ間の迅速な切り替えを担当します。ウェーハグラデーショントラッカーは、マシンの視野内のウェーハの正確な位置を検証するためにも使用されます。T 102は高解像度のイメージングフォルダで動作するように設計されており、高度な半導体プロセスの高解像度イメージングを可能にします。また、自動ウェハローディング機構を搭載しており、スキャン開始前に迅速かつ正確にウェハを整列させることができます。このマシンは、さまざまなウェーハに対応しており、半導体製造に使用される幅広い材料を処理するように設計されています。また、信頼性と安全性を確保するための多くの安全機能が装備されています。ICOS T 102は、最小限のダウンタイムで高性能を提供するように設計されており、半導体リソグラフィ用途に最適です。