中古 ICOS T 102 #9152988 を販売中

ICOS T 102ウェーハステッパーは、ウェーハあたりの高スループットと低コストの両方で高精度な結果を得るために設計されたリソグラフィ装置の一種です。プロジェクションオプティクスを活用し、ウェーハ表面に高品質な画像を生成しながら、生産コストを削減します。このユニットには、高度な2スキャンや正確な露出アライメントのための自動レベリングシステムなど、複数のプラットフォーム構成が付属しています。また、統合されたアライメントマシン、自動フォーカス制御、および高速露出シーケンス制御が含まれています。T 102には、最大限の柔軟性を実現するSmart Reticle/Mask Changerが搭載されています。この機能により、さまざまなタイプの製品ウェーハに複数のマスク/レチクルを使用できます。このツールは、最大6インチのウェーハをスキャンして完全なバッチ処理を行うこともできます。自動化されたプリアライメントにより、迅速で簡単なレチクル位置決めが可能です。Auto Focus Smart MeasureとSmart Indexはジオメトリの位置を認識し、オートフォーカスの柔軟性を備えているため、解像度と画像の詳細を最大限に引き出すことができます。ICOS T 102には、焦点制御を改善するための8インチの被写界深度を備えた先進的な光学構造も付属しています。自動投影コンタクト機能を備え、レチクルからウェーハにパターンを効果的に転送します。この機能は、歪みとノイズを低減するのに役立ちます。アセットは、優れたイメージングのための連続した一貫したヒーター温度を保証する自動熱制御と完全に互換性があります。迅速かつ正確な結果を得るために、このモデルには、オートキャリブレーション、マーキングセンサの自動化、イメージモニタなどのいくつかの機能強化機能が含まれています。統合されたキャリブレーション/検査ユーティリティにより、マルチプルウェーファー全体で信頼性の高い画質が保証されます。この装置は露出時間の最適化機能を備えており、露出時間を高精度で正確に制御し、より良い結果を得ることができます。T 102ウェーハステッパーは、さまざまな機能と性能向上技術を備えた高精度とスループットを提供する信頼性の高い堅牢なシステムです。より一貫したパフォーマンスを実現する自動熱制御を搭載しており、レチクルチェンジャーは優れた画質を提供しながら、プロセスの柔軟性を大幅に提供します。このユニットは、さまざまな生産アプリケーションに最適で、コストの削減と顧客満足度の向上に役立ちます。