中古 ICOS LI 7250S #9163805 を販売中

ICOS LI 7250Sは、生産リソグラフィで優れたパフォーマンスを提供するように設計された最先端のトップエンドウェーハステッパーです。モジュラー式設備の建設が特徴で、統合されたオープンアーキテクチャにより、高速で費用対効果の高い生産への道を提供します。高解像度（最大25nm）の光学スキャンと高度なソフトウェア制御機能を備えたLI 7250Sは、業界最高のスループットを提供します。ICOS LI 7250Sには、手動ローディングから自動ロボット処理まで、サンプル位置決めのための幅広いオプションがあります。このシステムはまた、ユーザーが処理時間とコストの両方を削減することができるユニークな「プローブレスローディング」機能を提供しています。ステッパーはまた、複数のビームとスキャンモードを提供してスループットを最適化し、ハイミックス生産のためのより高い歩留まりを達成します。さらに、LI 7250Sは、自動ビームアライメント、露出同期、ステッピングノイズの低減など、さまざまな露出制御（EC）機能を提供しています。すべてのEC機能は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。ICOS LI 7250Sは、最高解像度（3X）の光学系を実行するときに最大25nmの解像度を提供します。また、0.6X光学還元機能により、より大きな視野での露光を高速化することができます。さらに、ステッパーは、Rectilinear、 Stepping、 Step&Repeat、 Image Scanなどのさまざまなサンプルスキャンモードを提供します。これにより、ユーザーは、ハイミックス生産のための最高のスループットを達成することができます。LI 7250Sには革新的な自動プロセス制御（APC）ユニットが装備されており、ステッピングパラメータの自動リアルタイム最適化を可能にします。このマシンは予測アルゴリズムとデータ解析ソフトウェアを使用して、プロセス条件を瞬時に正確かつ正確に制御します。APCツールは、ユーザーが収量を最大化し、本番稼働を効率的に管理するのにも役立ちます。ICOS LI 7250Sは、信頼性と耐久性のために設計されており、イーサネット、GPIB、シリアル、およびUSB経由で安全で信頼性の高い接続を備えています。さらに、制御ソフトウェア、ステッピングネットワーキング、ステッピングモニタリングプローブなど、ステッパー自体を制御するための幅広いオプションが装備されています。また、低容量ビームシャットダウンや内部コントローラのシャットオフなどの高度な安全機能も備えています。LI 7250Sは、生産リソグラフィで優れた性能を提供する費用対効果の高いウェーハステッパーです。モジュラー資産の構築、高度な露出制御（EC）機能、自動プロセス制御（APC）モデル、および幅広い高度なオプションを備えています。これにより、ハイミックス生産に最適です。