中古 HITACHI LD-5011iA #9359431 を販売中

HITACHI LD-5011iA Stepperは、高度な半導体製造に最適な高速・高精度の微細加工機です。このウェーハステッパーは、優れた出力とウェーハ処理の柔軟性を提供するように設計されています。LD-5011iAの高度で完全に自動化された機能には、3軸レーザー投影制御装置があり、0。25 μ mを超えるパターン分解能のレーザー光線を正確に制御できます。このレーザー投影制御システムは、配置精度を向上させ、メタステッチパターンの高速処理を可能にします。また、ウェーハの光学歪みによる位置ずれを防止する高精度波焦点検出機構を特許取得しています。HITACHI LD-5011iAは、25インチのエリアステージで毎秒1万歩の最高速度で動作し、高速かつ正確なスキャンを実現します。高精度の射撃制御ユニットを搭載しており、複数のフィールドポイントにわたって精密スキャンを最適化できます。LD-5011iAの3軸コントロールマシンは露光誤差を最小限に抑え、多重露光を使用しても高い精度を発揮します。HITACHI LD-5011iAは、最大12インチウェーハに対応可能なウエハハンドラを搭載しています。この機能により、複数のウェーハの負荷による損傷や汚染がなくなります。結合されたウェハ転送ツールは、複数のウェハを処理する必要がある場合にもスループットを向上させます。LD-5011iA Stepperは、高速性能、優れた制御資産、および超精密レーザー投影モデルにより、理想的なウェーハ処理ソリューションです。その高度な自動化機能は、最も複雑なジョブでも迅速かつ正確な処理を保証するのに役立ちます。このマシンの高性能ウェーハハンドラは、複数のウェーハをロードおよびアンロードするためのDownTimeを最小限に抑えます。また、日立LD-5011iAの最先端技術は、精密製品のより速い生産を可能にすることで、製造業の世界でエッジを提供します。