中古 HITACHI LD-5011iA #9085774 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
HITACHI LD-5011iAは、最先端の半導体デバイス製造用に設計されたウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、一連の整列レチクルを通して光を印刷することにより、5インチ（200mm）のマイクロリソグラフィー画像を生成することができます。自動化された同時レンズ交換、パターン投影、アライメント機能により、優れた性能と効率を実現します。LD-5011iAは、正確なレチクルの位置決めとフォーカスアライメントを支援するために、acousto光学変調器で構成されたステップとリピート装置です。自動化されたオートメーションパターン投影とウェーハアライメントシステムにより、1つのウェーハに多数のパターンを投影およびアライメントできます。このウェーハステッパーには、0。6ミクロンの微細な回折限界画像を生成できる最先端の高解像度光プロジェクションレンズが装備されています。また、HITACHI LD-5011iAは高速かつ高精度化を実現し、最高露光時間と優れた画質を実現しています。また、幅広い露出をサポートし、ユーザーがニーズに応じてプロセスを最適化することができますレジスト。システムには、ユーザーの要件に応じて使用できるさまざまな露出機能もあります。これには、最適なパターン配置精度、欠陥検査、および高速ウェハ検査のためのフィールドセキュリティ（FSE）のコーナーが含まれます。さらに、このモデルはダイナミックフォーカス制御（DFC）とショットプロセス機能を提供することができます。さらに、LD-5011iAには高度な冷却ユニットが装備されており、温度と湿度の安定性を維持するのに役立ちます。この機械はすべての環境条件の改善された均質性および均等性を提供する高度の熱制御ツールです。そのHe-Cdレーザー光源は、優れたショット成功、均一性、再現性を提供するように特別に設計されており、高品質の結果をもたらします。HITACHI LD-5011iAウェーハステッパーは、半導体マイクロリソグラフィ処理用に設計された堅牢で高性能なプラットフォームです。自動レンズ交換、パターン投影・アライメント、ダイナミックフォーカス、ショットプロセス制御など、数多くの機能と機能を備え、高いスループット、優れたパターン配置精度、優れた結果を提供できる強力な資産です。
まだレビューはありません