中古 GCA XLS #111828 を販売中

GCA XLSウェーハステッパーは、半導体産業でウェーハ製造プロセスに使用される高度に自動化されたツールです。DUVステッパーで、集積回路やMEMS部品の光学回路や電子回路形成のためのリソグラフィなど、さまざまなリソグラフィープロセスに一般的に使用されています。XLSウェーハステッパーは、最大6x6インチの投影イメージサイズを備えたマルチビーム投影露光ツールです。高度な光学設計と独自のソフトウェアにより、高いスループットと精度を実現しています。マルチビーム露光ツールは、光制御を改善し、効率的で高品質の光学イメージングプロセスを提供します。GCA XLSウェーハステッパーは、さまざまなマスクフレーム（最大8 「x8」）と3「から8」までのあらゆるサイズのウェーハを処理できます。ステッパーは、1。5umの精度と最大200Kms （20000秒）の露出速度が可能な露出ユニットを備えた高度な非接触段装置を備えています。また、4nmの精度でユニークなマスクアライメントシステムを提供します。強力なモーターにより、X軸とY軸の両方で4nm、シータ軸で8nmの分解能を達成できます。さらに、XLSウェーハステッパーには、連続空気機と2段のろ過ツールを備えた空気洗浄ユニットが内蔵されています。ステッパーはストロボアセットと強化されたストロボを備えているため、偏光やトポグラファー機能などの特殊なイメージオーバーレイを使用できます。自動化されたレベルアライメントモデルにより、ステッパーはウェーハの傾きを正確に測定し、最高品質の露出を保証します。GCA XLSウェーハステッパーは、複合層とバイナリマスク層の両方を処理できます。また、高精度登録機能を内蔵した専用ルックアップテーブルと、アライメントデータとマスクパターンを高精度に編集できるピクセルレベルのエディタを使用して、ウェーハアライメント装置を処理することもできます。全体として、XLS Wafer Stepperは、半導体製品を製造するための強力で正確なソリューションを提供する最先端の技術です。高度な技術と独自のソフトウェアにより、高いスループットと精度を実現し、半導体生産のための非常に効果的なツールとなっています。