中古 GCA XLS 7800 #9382955 を販売中

GCA XLS 7800は、幅広い製造プロセス向けに設計された先進的なウェーハステッパーです。最先端の光学エンジンと高性能XYステージを備え、幅広い基板にわたって迅速かつ高精度なステップアンドリピート動作を提供します。XLS 7800は、モノクロレーザー光源と8インチ/秒の加速度計搭載レーザースキャナを備えており、より高いスループットと部品間重ね精度を実現しています。ビームスポットサイズは、ハードコンタクトフォトリソグラフィやレーザーアブレーションなど、さまざまな露出要件を満たすように調整可能です。このシステムは、最大24のジョブを同時に処理でき、ジョブの提出と管理のための使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。また、GCA XLS 7800は高性能で自動露出機能を備えており、複雑なパターンでも高精度なアラインメントを実現します。アライメントの高速かつ高精度により、大型基板における迅速な処理と伝搬誤差を最小限に抑えます。また、露出を自動化することで、ステップ間の迅速な遷移を可能にし、スループットをさらに最適化します。XLS 7800には、超低振動プラットフォームと、正確で反復可能なスループットを保証するグローバルユニットコントローラが含まれています。このマシンは、最高のリソグラフィ安定性を保証し、オートフォーカス機能と効率の向上により、すべての操作の精度が向上します。このツールはまた、誘電体コーティングとウェーハスライシングのための統合されたオプションを提供し、自動化された機能を追加します。要するに、GCA XLS 7800は、スループットと精度を最大化するように設計された自動ウェーハステッパーです。最先端の光学系、高性能XYステージ、レーザースキャン、自動露出、および誘電体コーティングとウェーハスライシングのための統合されたオプションが組み合わされており、大規模な基板全体で迅速かつ正確かつ再現可能な結果を保証します。