中古 GCA XLS 7800 #9246052 を販売中

GCA XLS 7800は、ウェーハリソグラフィー用途に利用可能な最先端のステッパー技術を提供するフルフィールドオプティカルイメージング機器です。ステッパー技術は、カスタマイズ可能で高精度な露出光学系と、焦点深度を向上させる革新的な光野レンズを組み合わせることで、エアベアリングスライド、ライトフィールドレンズを搭載した12µm、最小限の機能サイズを18µmすること0.35µmできます。また、GCA独自のiCentris™イメージングコントロールユニットを統合し、プロセス調整と高解像度イメージングを可能にします。XLS 7800は、非常に高いスループットと解像度を提供する実証済みの生産クラスのリソグラフィ機です。これは、フルウェーハフィールド40mm x 40mm、フルサービスウェーハスキャンとイメージングのための200mmの最大ウェーハサイズを備えています。GCA XLSは、独自のアライメントとイメージングコントローラであるSkyfire™光学イメージングツールにより、優れた画像精度と安定性を提供します。各ツールのSkyfireキャリブレーションボードは、起動、シャットダウン、シフトごとに使用され、プロセスの安定性と再現性を提供します。GCA XLS 7800は、最大3。4x倍率のUV-ASMLTMダイヤモンドターンオプティクスを提供します。この高度な光学アセットは、最高の画質を保証するために、高解像度のイメージングと露光パラメータの正確な微調整を提供します。これは、ダイナミックなパーティクルモニターによってさらに強化された、高コントラストとフィールド全体の均一性によって助けられます。XLS 7800はまた、スループットの向上とメンテナンス時間の短縮を可能にする急速な変更レチクルモデルを採用しています。このツールは、インデックス作成、オートフォーカス、マウント認識、エッジ検出を完全に自動化し、優れた自動化を提供します。ステッパー設定は、付属の自動設定オプションを使用して自動的に実行されます。インデックスとステップの繰り返し精度は、GCAジグザグのアイパターニングによって効果的に維持されます。また、GCA XLS 7800は、幅広いレジストプロセスを提供し、同じウェーハ上のさまざまなレジストを同時にサポートし、From Wafer To Reticle™レーザーダイレクトイメージングをサポートする単一のプラットフォームを提供します。XLS 7800は、幅広いウェーハリソグラフィ用途において信頼性が高く、費用対効果の高いイメージング機器であり、生産および研究開発ニーズに対応する多目的で機能豊富なソリューションを提供します。最小限のメンテナンスで最大のスループット、精度、プロセス歩留まりを提供し、高度なリソグラフィ操作に最適です。