中古 GCA / ISI ALS 200 #21478 を販売中

GCA/ISI ALS 200は、集積回路（IC）の製造に使用されるウェハステッパーです。ステッピングタイプのマシンで、1時間あたり最大200ウェハのスループットで動作します。この装置は、ステップとリピート技術を使用して、短時間で効果的に生産します。GCA ALS 200は2段階の照明を通してウェーハに供給します。最初の段階では、ウェーハは光源で照らされ、ウェーハに転送される層を表すドットのパターンが生成されます。第2段階は、ウェーハを露出するために使用される投影です。この段階では、高速なX-Yステージでウェーハを移動させ、生成されたパターンをぼかしずにウェーハに転送します。この露出が成功すると、ウェーハ上に電気経路が生成されます。ISI ALS 200は位置で非常に正確、精密です；X方向とY方向に1ミクロンの精度でウェーハの表面全体に正確かつ正確にマークを配置することができます。また、ウェーハのステージ位置制御のための2つの制御モードのオプションがあります。マイクロプロセッサのクローズドループ位置制御モードとコンピュータビジョンのオープンループ制御モードです。ALS 200は、外部要件に基づいて操作できる調整可能な露出設定も提供します。この周波数オプションを使用すると、UVおよびLow Lightレベルのアプリケーションをさらに調整できます。また、露出監視、ウェーハアライメント、データストレージを提供し、フィルムトラッカーやオートメーションなどの他のシステムと統合することができます。最後に、GCA/ISI ALS 200は購入と初期インストールに関して完全なカスタマイズを可能にします。これには、カスタムマスク、フィルムカセット、およびバキュームローダーが含まれており、すべてオプションで利用できます。また、手動でシステムをリモートでアップロードおよび制御する機能も含まれます。