中古 GCA DSW 8500SE #9252320 を販売中
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ID: 9252320
Stepper
Lens: TROPEL 2142G (436 nm), DFAS, PPC, 5x Reduction
Illumination: Theta III, insitu, maxi 2000 pulsed
Lamp power: Rated 1050 W
MIMIR 4105 Optical energy controller
Includes:
HVAC Unit (R12)
GCA 6660S Environmental chamber
Chiller
Spare parts
~1992 vintage.
GCA DSW 8500SEは、半導体製造におけるさまざまな用途に適したステップとリピートウェーハステッパー装置です。このシステムには、広いスペクトル感度、超高解像度、正確なパターン配置、高速スループットなどの機能が搭載されています。感度の高い深紫外線光学技術と高度な光学イメージング技術により、広範囲のフォトレジストを幅広い波長と幅広い層の厚さにさらすことができます。これは高度なリソグラフィープロセスでの使用に最適化されています。ステッピングモーター駆動のX-Yステージにより、ウェハ全体に正確なパターン配置が可能です。これにより、サブミクロンの精度に合わせて登録することができます。DSW 8500SEのリソグラフィ画像精度は、さまざまな画像強度とスケール範囲で維持されます。機械の堅牢な機械設計により、他の機械からの振動にさらされても、ユニットは非常に高い精度で動作することができます。その真空封じられた段階はステッパーの操作の間に最適のウェーハの安定性を保障し、スループットおよび信頼性を高めます。GCA DSW 8500SEは、優れたフィルム均一性と画像配置安定性を得るために、ウェーハのロード時間が2分未満の高速スループットを提供します。また、高度なイメージング機能により、簡単な画像スケーリングと高度なオーバーレイ公差が可能です。このマシンのユーザーフレンドリーな機能には、調整可能な光強度のコントロールパネルと、露出パラメータを素早く調整するための読みやすいディスプレイスクリーンが含まれています。さらに、このツールはオプションのオートメーション機能で自動化できます。DSW 8500SEは、広いスペクトル感度、精度、速度、およびユーザーフレンドリーな機能により、半導体製造のためのウェハステッパーの優れた選択肢です。信頼性の高い高度な光学系と熱性能を備えたこのアセットは、信頼性の高い安定したフォトリソグラフィーモデルを必要とするお客様にとって理想的な選択肢です。
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