中古 GCA DSW 8500 #293639852 を販売中
URL がコピーされました!
ID: 293639852
i-Line stepper
Illumination uniformity: <= 2.5%
System resolution: 0.8 μm L/S
Depth of focus: <= 1.25 μm
Reduction: +/- 0.10 µm
Rotation: <= 0.05 µm
Telecentricity: +/- 0.25 ppm
Global registration: +/- 0.25 µm T.I.R
Local registration: +/- 0.15 µm T.I.R
Open frame: No repeaters
Orthogonality: +/- 1.0 ppm
Stage precision: +/- 0.10 µm
Wafer levelling repeatability: +/- 10 ppm
Reticle aligner accuracy: <= 0.1 µm
Aperture blade repeatability: +/- 0.25 mm
Aperture blade skew: +/- 0.25 mm
RMS Realiability: 30 Cycles
AWH Precision: +/- 3.0 mils
AWH Reliability: 50 wafers
Focus repeatability: <= 0.30 µm T.I.R
Reduction repeatability: <= 6.0 ppm T.I.R
Optic:
Lens specification: 1635-I Tropel
Focal length: 86
Resolution: 0.8 µm
Image field: 16 mm
Wavelength: 365 mm
E.P. Location: 439 mm
Reduction: 1:5
Depth of focus: n+/- 0.75 µ.
GCA-GCA DSW 8500ウェーハステッパーは、集積回路および半導体デバイスの製造に使用される高精度のイメージング装置です。光学とX線の両方のイメージング機能を組み合わせ、複雑な構造を正確に画像、整列、パターン化する高解像度高精度デバイスです。GCA-DSW 8500は、ウェーハあたり最大6インチ(152 mm)の広いスキャン領域、正確で再現性のあるイメージングのための複数の完全に自動化されたステージ、マイクロ・スケール・イメージング用の高精度な測定およびアライメント・デバイス、および追加のステージと光学を追加できる拡張アーキテクチャを備えています。このシステムはユーザーフレンドリーで、セットアップ時間を最小限に抑えるように設計されており、インタラクティブなグラフィックスユーザーインターフェイス(GUI)と包括的なツールを備えたフル機能のオペレータパネルがあります。このユニットには、クリーンでほこりのない環境を提供する真空チャンバーが含まれています。この光学機器は、高分解能レーザーアレイ、X線ソース、および長距離の作動顕微鏡によって駆動されます。光学ツールには、リアルタイムのデータ解析とキャリブレーション機能を提供できるイメージプロセッサと画像処理ソフトウェアも装備されています。GCA-GCA DSW 8500は、高速プロセッサと8 インチワイドフィールドCCDイメージングカメラを搭載しています。IMAP (Image Mounted Alignment Process)ソフトウェアを使用して制御され、手動パターニングと自動パターニングの両方を可能にします。GCA-DSW 8500には、精度が維持され、可変性が最小化されるように設計された多数の機能があります。これには、低騒音環境、振動を低減するためのモーションコントロールシステム、最大の資産パフォーマンスを確保するための内蔵のセルフテストおよび診断機能が含まれます。GCA-GCA DSW 8500は、最新のイメージング技術と先進的なモーションコントロールシステムを組み合わせることで、1秒間に最大3mmの高速で高解像度のイメージングを実現し、高い再現性を実現します。このモデルは信頼性、再現性、高精度のイメージングプラットフォームを提供し、高精度の電子部品やデバイスの生産に最適です。
まだレビューはありません