中古 GCA DSW 8000 #9312611 を販売中

製造業者
GCA
モデル
DSW 8000
ID: 9312611
Stepper NAF 0.35 I-line lens: 16-35 mm.
GCA DSW 8000は、半導体製造業界で使用される高度なウェーハステッパーです。パターンイメージをシリコンウェーハに露出させて集積回路デバイスに使用する自動化装置です。このデバイスは、高度なバイナリ光学技術を使用して、パターン化された画像の露出において比類のない速度と精度を実現します。8-0インチのステップサイズを備えており、8ミクロンのウェーハに正確に画像を投影することができます。さらに、システムは0。25ミクロンの解像度を誇り、優れたレベルのディテールと精度を提供します。DSW 8000は、選択したエリアイメージングと空中画像投影の両方に対応でき、必要に応じて画像サイズと形状を調整することができます。さらに、ウェーハ上に個々の画像を正確に配置するための自動アライメントユニットを備えています。統合された反射防止コーティングマシンは、露出品質の最適なレベルを達成するのに役立ち、シャープで明るい画像になります。このツールにはリアルタイムプロセスモニタリングも付属しており、ユーザーは露出中に発生する可能性のある問題を簡単に監視およびトラブルシューティングできます。安全面では、GCA DSW 8000には、ユーザーへの放射線被ばくを防ぐためのさまざまな保護層と技術が装備されています。これには、露出領域をカバーするユニークなシャッターアセットが含まれており、放射線がチャンバーに入らないようにします。また、静電気の発生を減らすために設計されており、異物がイメージングチャンバーに導入されるのを防ぐのに役立ちます。全体として、DSW 8000は、シリコンウェーハのイメージング時に優れた速度と精度をユーザーに提供するように設計された汎用性の高い高度なウェーハステッパーです。これは、最大のユーザーと画像保護を確保するために、さまざまな安全機能と技術を備えていますが、自動化されたアライメントと反射防止コーティングシステムは、画像の明瞭さと明るさを向上させるのに役立ちます。このデバイスの8-0インチステップサイズは、これまでにないレベルのディテールと解像度を提供し、半導体製造工程に最適です。
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