中古 GCA AutoStep 200 #9243635 を販売中

ID: 9243635
ウェーハサイズ: 8"
Wafer stepper, 8" TROPEL 2145 Lens i-Line (365 nm): 0.45 NA Field size: 21 mm With 8860 Environmental chamber Insitu probe: Probe mount stage and lens reduction Automatic Wafer Handler (AWH) (25) Cycles, 6" Automatic level wafers RMS10: (10) Reticles, 5" Maxi 2000: i-Line light source, 700 W AFS 100 Automatic focusing system MicroDFAS: Local alignment system Alignment prior stepping SmartSet: Metrology computer system and store data Single / Multiple steppers IQ Probe: Lamp position and light source Programmable Platen Control (PPC) Automatic adjust reticle load position Integrated Alignment System (IAS) Automatic digital alignment Atmospheric Compensation System (ACS) Nitrogen reduction lens.
GCA AutoStep 200は、半導体デバイスの製造におけるサンプリング効率と柔軟性を最大化するように設計された自動ウェーハステッパーです。GCA AUTO-STEP 200は、正確で反復可能な基板位置決めを提供し、機能するために最小限のユーザー入力を必要とします。このデバイスには、200mmから8インチの範囲のウェーハを処理できる自動スケーリング光学機器が装備されており、最適な露出精度を提供します。光学システムには最新のデュアルセンサオートフォーカス機能が搭載され、高解像度のイメージングを実現します。露出ヘッドは8mm/秒までの速度で横断することができ、X軸とY軸の両方で調整することができます。AutoStep 200は、GCA独自のアルゴリズムベースの制御ユニットを搭載しています。このマシンは、露出前に潜在的な位置誤差を予測および修正することにより、最適なウェーハ配置精度を保証します。このアルゴリズムにより、効率的な露出アライメントが可能になり、露出領域を正確に増減することができます。AUTO-STEP 200は、ウェーハとユーザーの両方を保護するための包括的な安全機能を備えています。すべての露出パラメータはプログラム可能であり、資産には安全プロトコルの遵守を確実にするためにハードウェアとソフトウェアの両方の安全インターロックが含まれています。結論として、GCA AutoStep 200は、幅広い基板を簡単に処理し、正確かつ再現性の高い露出精度を提供するように設計された強力で信頼性の高い自動ウェーハステッパーです。アルゴリズムベースの制御モデル、包括的な安全機能、およびデュアルセンサオートフォーカス機能により、デバイス製造アプリケーションに最適です。
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