中古 GCA AutoStep 200 #293639166 を販売中

ID: 293639166
ウェーハサイズ: 6"
i-Line stepper, 6" 1995-1996 vintage.
GCA AutoStep 200は、GCA株式会社が開発した洗練されたウェーハステッパーです。ウエハ表面に回路パターンを伝達する高度なリソグラフィーツールです。ステッパーは、特許取得済みの光学マイクロプロジェクションディスプレイ(OMPD)技術を使用して、ウエハに超精密なデジタル画像を投影します。この技術は、画像の歪みを最小限に抑え、高精度で信頼性の高い感光デバイスの製造を可能にします。GCA AUTO-STEP 200は、高度なデジタルイメージングおよび画像処理システムと組み合わせた堅牢な光学システムを搭載しています。この組み合わせにより、ユーザーは高解像度の結果、優れた再現性、およびナノメートルスケールの高精度機能と大型ダイデバイスの両方の設計、印刷、および処理における幅広い機能を提供します。マシンの中心には、マルチステージで高度に適応可能な投影ユニットがあり、最小スキャンピッチは2。5 μ m、最大マスクは40 μ mです。この機械はレンズおよび特許を取られたフィードバックのメカニズムを含んでいます非常に低いライン端の粗さおよび低線幅の間違いを維持し、イメージ全体を切り抜きます。最高精度のジョブのために、AutoStep 200は、フレア、収差、シェーディングなどの光学的欠陥を補正できる高度な自動補正サービスを提供しています。AUTO-STEP 200には、ウェーハに正確に回路パターンを転送するための強力で信頼性の高い露出ツールもあります。フィールド平坦化レンズ、高速スキャン速度、再現性に優れているため、高精度で複雑なデバイスを製造することができます。ユニークな露出アライメントモデルは、回路がウェーハ上に適切に配置されていることを保証し、ずれによるエラーや歪みを排除します。GCA AutoStep 200には、他のリソグラフィーシステムやプロセスを統合する入出力ポート、防塵オプション、特殊な診断および監視オプションなど、さまざまな最先端の機能が装備されています。GCA AUTO-STEP 200は、高精度、高精度、高品質の結果をユーザーに提供するだけでなく、高速なセットアップ時間、大規模なプロジェクトのための大規模なリソグラフィー工程、拡張露光時間を提供し、高効率です。その使いやすさと迅速なターンアラウンドタイムは、信頼性の高い自動リソグラフィーツールを探しているプロにとって人気のある選択肢です。
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