中古 GCA ALS 2145 #9411591 を販売中

GCA ALS 2145は、集積回路製造の分野で広く使用されているマイクロリソグラフィーツールです。このマシンは、特許取得済みのハイブリッドリニアモーター/光対応スキャンプラットフォームを使用して、アライメントおよび露光装置の投影光学系を正確に配置します。これにより、半導体基板に微細構造をパターン化する際に高精度を必要とする用途に最適です。GCA ALS-2145は、ナノメートルスケールのステージ精度、最大0。2ナノメートルの精度を備えており、0。5ミクロンの小さい特徴をパターン化することができます。また、最先端のCCDカメラシステムとアンビエントスキャンユニットにより、アライメント精度を向上させています。ALS 2145は、ある基板から別の基板への高速スイッチング時間のため、業界ではワークホース機器であり、大量生産のための信頼性の高い選択肢となっています。このウェーハステッパーは、独自の双方向マスク交換機により、各ウェーハで最大8種類のレチクルを調達することができ、超高解像度でも高いスループットを実現します。また、モーションユニット内に配置されたハイアボイダンスツールは、交換ツールと組み合わされ、各基板の同時ローディングと処理を可能にします。さらに、資産は維持しやすいように設計されています。ビームパスに可動素子がないため、定期的な洗浄や光学系のアライメントは必要ありません。また、タイトなビーム自動コリメーションと少数のモジュレーションアジャスターを備えた内蔵のオートフォーカスオプションを備えているため、取り付けと校正が簡単です。ALS-2145は、世界が提供する最新かつ最大の集積回路の製造に使用する高解像度の設計図を迅速かつ正確に生成することができる強力で信頼性の高いツールです。この機械は、高いスループットと精度で、今後も半導体業界の需要の増大を支えていきます。