中古 GCA 8500 series #21477 を販売中

GCA 8500シリーズのウェーハステッパーは、半導体製造プロセスのフォトリソグラフィに使用される特殊なツールです。ステップアンドリピートプロセスを使用して、シリコンウェーハに写真画像を正確に露出させます。8500シリーズは0。1 μ m（以前のシステムよりもはるかに正確）までのイメージング機能が可能で、以前のステッパーと比較して高いスループット、より良い精度、および改善された解像度を提供します。GCA 8500シリーズは、統合された一連のコンポーネントで構成されています。放射線源、光イメージング光学、ステージ制御装置、ステージ制御システム、ウェーハホルダーが含まれています。ステッパーイメージングユニットは、4K光源と8K光源を組み合わせたプロジェクションオプティクスを使用しています。この光学系は、シリコンウェーハの正確な点を通して、透明な画像を正確に投影するように設計されています。8500シリーズのステージコントロールマシンは、10nmレベルの高精度と再現性を保証します。5軸メカニカルスキャンステージで動作します。5軸ステージは軸角を密接に配置することで高精度を維持しながら、幅広い動作を提供します。GCA 8500シリーズのウエハハンドリングツールは、ウエハーへのフォーカスを強化し、正確な位置決めと、ほこりなどの外部粒子からの損傷からのより良い保護を提供します。ウェハハンドリングアセットは位置制御モデルと統合され、完璧な動作と精度を保証します。8500シリーズは高精度な高解像度イメージングが可能です。ウェーハは非常に高速で高解像度で処理できます。高度な制御、強化されたオートメーション、シンプルな操作、高い歩留まりなど、幅広い高度な機能を提供します。GCA 8500シリーズは、フォトリソグラフィ、ウェーハステッパー、ウェーハ露出機能を実行できる信頼性と費用対効果の高い機器です。高度な半導体製造、高度なMEMS/LEDデバイスの製造、LCD/プラズマディスプレイの生産、高度なイメージング作業に適しています。全体として、8500シリーズのウェーハステッパーは、半導体加工およびフォトリソグラフィに使用される信頼性の高い高精度ツールです。様々な用途に対応する強力な機能、精度、高性能を提供し、先進的な半導体製造やその他のイメージングワークに最適です。