中古 GCA 8000i series DSW LASERSTEP 200 #1721 を販売中

GCA 8000i シリーズDSW LASERSTEP 200ウェハステッパーは、画像およびステップウェハに特化して設計された高性能デバイスです。このシステムは、一連の連結スキャン光学プラットフォーム上に構築されており、トラック誘導のミスアライメント段階でのレチクルの正確な移動を提供します。これにより、歪みを最小限に抑えながらウェーハ上の小さな特徴を正確かつ正確に画像化できます。GCA 8000iには、画像取得プロセスをリアルタイムで補正できるin-situ歪み補正システムが含まれています。これにより、ウェーハイメージングの最高精度が保証されます。ステッパーはまた、角度付きフィーチャーの正確なイメージングを可能にする2軸の傾斜および回転ステージで構成されています。これは、ステッパーが低画像や立体的な機能を必要とするアプリケーションに特に役立ちます。tilt-and-rotateステージに加えて、GCA 8000iには、高度な光学系を備えた可視光顕微鏡が搭載されており、ウェハを高解像度で表示できます。また、調整可能な統合ビームブランキングシステムが含まれており、ウェーハ上の非常に小さな機能の正確なフォーカスとイメージングを可能にします。GCA 8000iの中心には、LASERSTEP 200光学イメージングヘッドがあります。これにより、安定性と再現性を維持しながら、高精度のウェーハ動作を実現します。ヘッドは、ウェーハ表面への自動アライメントにより、0.5µmのように小型のイメージングが可能です。また、パルス幅変調レーザーバーを備えており、正確な位置決めとステップ連続性を確保します。GCA 8000iは、高精度のイメージングとステッピングを必要とするウェーハ製造および研究アプリケーションに最適なツールです。その先進的な光学系とウェーハムーブメント機能により、非常に小さな機能を備えたイメージングおよびステッピングデバイスに最適です。傾きと回転のステージは、角度付きの特徴を撮影したり踏んだりするための比類のない精度を提供します。その場での歪み補正と統合ビームブランキングにより、ウェーハ上の最小の機能でも鮮明な画像が保証されます。GCA 8000i DSW LASERSTEP 200ウェーハステッパーは、ウェーハイメージングとステッピングのための信頼性の高い高性能ツールです。