中古 GCA 8000 #131413 を販売中

GCA 8000ウェーハステッパーは、微小回路部品の製造に使用される光学リソグラフィ装置です。マイクロパターニングと集積回路フォトリソグラフィの最先端のツールです。このツールは、半導体ウェーハ上の超精密パターンの製造に使用されます。8000の特徴は、自動レチクル交換システム、0。6 µmのアライメント精度、7。5 nmの解像度、および自動レベリングウェーハステージです。さらに、最大パターンサイズは100mm×200mmで、石英、ガラス、シリコン基板に対応しています。GCA 8000の動作は、ステッパーにレチクルをロードする装置から始まります。その後、レチクルは基準点と整列します。このデバイスは、レチクル全体のイメージをウェーハに投影するために、一連の小型レンズを使用します。ミニレンズは、投影の焦点や倍率を変更するために調整することができます。フォトリソグラフィック露出後、ウェハは開発システムに供給されます。これは、光にさらされたフォトレジストの除去につながる湿式化学プロセスです。開発システムには、フォトレジストの清掃と除去に使用されるさまざまなソリューションを備えたタンクが含まれています。8000は非常に印象的な技術であり、そのアプリケーションは数多くあります。それは生産ラインの広い範囲で使用される信頼性が高く、高度な用具です。欠陥を最小限に抑え、基板上に正確で高解像度のパターンを生成することができます。この技術は、各種集積回路の精密加工に活用できます。