中古 GCA 8000/8500 #9101642 を販売中

GCA 8000/8500は、GCA株式会社が製造するウェーハステッパーです。この装置は、4軸ウェーハハンドリングロボット、精密顕微鏡、電動ウェーハステージ、高解像度の冷却CCDカメラ、統合制御システムで構成されています。GCA 8000/8500は、簡単なアップグレードとインターフェースの柔軟性を可能にする汎用性の高いモジュラー設計を備えています。4軸ウェーハハンドリングロボットは、ウェーハの積み降ろし作業を行います。このロボットは、最大200mm （8インチ）のウェーハに対応でき、オートアライメント機能も備えています。精密顕微鏡は、ウェーハの正確なアライメントを可能にし、0。5 μ mの小さいパターンのイメージングを可能にするフォーカスと倍率制御を提供します。電動ステージは、正確なイメージングとオーバーレイ登録を確実にするために、ウェーハを正確に配置することができます。CCDカメラは、ユニットの中心であり、最高品質のイメージングのために0。35 μ mの真の幾何学的および分解能の仕様を提供することができます。カメラには、3、5、6インチウエハに適したカラーフィルターも選択できます。冷却されたCCDは最適のスループットのために高速で低雑音のイメージを可能にします。タッチスクリーンインターフェイスを備えたマシンの直感的な制御ツールは、ユーザーフレンドリーで操作が簡単です。統合された検索および検索機能により、保存されたパターンを簡単に検索でき、GCA 8000/8500は高速マニュアル、半自動または完全自動露出のための完全な機能を提供します。GCA 8000/8500は、マスクアライメント加工、光学マスク検査、テープ自動接合、MEMSデバイス製造、ICパッケージング、PCB加工など、半導体業界の用途に適しています。このアセットは、精密ウェーハ処理に必要な比類のない性能、信頼性、柔軟性を提供します。