中古 GCA 6300C #9181535 を販売中

GCA 6300Cは、半導体製造に使用されるリソグラフィーツールの一種であるウェハステッパーです。マスクからウエハーや基板にパターンを転送するために一般的に使用される高精度デバイスです。6300Cは、6インチ、8インチ、12インチのウェーハサイズで、ステップアンドリピートのフォトリソグラフィが可能です。GCA 6300Cのレンズ装置は、優れた解像度と反復可能な性能を可能にするトリウム-フッ化物設計によって駆動されています。レンズシステムは、砲塔上にあるクローズドループ型のCCDカメラで動作します。これにより、高倍率とアクティブなアライメント機能が可能になります。CCDカメラは、任意のアライメントエラーを検出し、オペレータのウェーハの位置を最適化するためにも使用されます。ステッパーは、ユーザーが希望の設定でマシンをプログラムすることができますコンピュータユニットに接続されています。ユーザーは、所望の倍率、フォーカス、基板温度、およびシャッタースピードを入力することができます。このツールには、レンズ資産の収差を測定し、転送画像の最適な品質を測定するウェーブフロントセンサーも含まれています。6300Cは、高解像度、高速リソグラフィ用途に最適です。最大スループットは1日1 20,000ウェーハで、直径12インチまでのウェーハに対応できます。このモデルは248nmの波長で動作し、最大0。3ミクロンのパターン分解能を達成できます。また、ラインエッジの粗さに優れ、最大0。2ミクロンの特長サイズを実現できます。また、GCA 6300Cは低保守のために設計されています。設計要素は、アップタイムを増加させ、フルループ配置を完了するまでの時間を短縮するように設計されています。ステッパーは、フォーカスモーション、レチクルチェンジャー、ロード/アンロードシステムなどの標準的なアクセサリとも互換性があります。また、対流アシストエッチングプロセスも可能であり、厳格なクリーンルーム要件のために設計されています。6300Cは、リソグラフィーシステムで優れた解像度、速度、再現性、および低メンテナンスを必要とする人にとって優れたオプションです。