中古 GCA 6300B #9350318 を販売中

GCA 6300Bは、フォトリソグラフィーマシンの設計・製造を専門とするGCA株式会社が製造するレジストステッパーです。半導体ウエハーを集積回路で露出させるためのウェハステッパーを利用した中距離ステップアンドスキャンリソグラフィ装置です。6300Bは、サブミクロンフォトリソグラフィーの厳格な要件を満たすように設計されており、以前のステップアンドスキャンリソグラフィーマシンの精度と解像度を超えています。このシステムは、高度なイメージング技術を使用して、優れたプロセス制御を提供し、チップ製造プロセスにおける耐久性とスループットを向上させます。機械の中心には高度な高解像度レンズユニットがあり、極めて一貫性のある優れた画質を提供します。さらに、高精度で高速なウェーハアライメントを実現する自動アライメントマシンによって補完され、複雑な集積回路の正確な生産が可能になります。GCA 6300Bには、業界をリードするウェーハステッピングツールがさらに装備されています。このアセットは、高精度のクローズドループ制御ウェーハステージで構成され、ウェーハの位置決めとスキャンを正確に制御します。また、レーザダイオードでウェーハ表面を正確にスキャンして正確な露光を行う精密ステッピングモータを採用しています。これにより、ウェーハ上のマスク画像の正確な制御と位置決めが保証されます。6300Bのもう一つの重要な特徴は、露出パターンの均一性と忠実性を監視するためにビジョン装置を利用した高度な自動計測モデルです。これはさらに焦点面を追跡するフォーカスシステムによって補完され、画像が正確かつ歪みのないようにレンダリングされます。さらに、このユニットは拡張性に優れた設計となっており、最大200mm以上の大きなウェハサイズに対応できるようにアップグレードされています。GCA 6300Bは、高精度で複雑な集積回路を製造することができる高度なウェーハステッパマシンです。クローズドループウェーハステージとステッピングモータにより、画像の正確な登録と位置決めが保証され、高度な計測システムはエラーチェックと解析を提供します。最終的に、6300Bは、高精度のサブミクロン回路生産のための優れた中場リソグラフィーツールです。