中古 GCA 6300B #9260038 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
GCA 6300Bウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用されるフロントエンド計測ツールです。2D/3Dマイクロデバイスや薄膜構造の特性を検査・測定する自動化デバイスです。ステップ、トポグラフィ、アスペクト比などの表面フィーチャーの正確かつ再現性の高い測定が可能であり、さまざまな微細加工アプリケーションにも対応しています。6300Bウェハステッパーには、パフォーマンスコントローラ、デジタル信号プロセッサ（DSP）、デジタル-アナログコンバータ（DAC）、アナログ-デジタル（ADC）コンバータが装備されています。コントローラは高速解析を提供し、リアルタイムでステッパーを制御するために使用することができます。DSPはウェーハからのデータを測定するために使用され、DACとADCは解析のために信号を変換します。GCA 6300Bウェハステッパーには、光学顕微鏡、高解像度カメラ、3Dイメージング用レーザースキャナからなる高解像度イメージング装置も搭載しています。イメージングシステムの視野は30x〜300xで、最小フィーチャーサイズは0。3 μ mです。ステッパーはまた、数十ナノメートルの厚さから数百ナノメートルの厚さの超薄型層を測定することができます。ウェーハステッパー6300B、プロセス全体にわたって温度安定性を確保する内部熱制御ユニットを備えており、最高レベルの製品再現性を確保しています。ステッパーにはウエハローダーが内蔵されており、直径150mmまでのウエハの積み降ろしが可能です。また、統合された真空チャックマシンを備えており、各ウェハを自動的に識別するためのウエハトラッキングツールが装備されています。GCA 6300Bウェハステッパーは、イオンミリング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、ウェットエッチング、化学機械研磨（CMP）、誘電体の蒸着、蒸着およびリフトオフなど、さまざまなプロセス工具および技術をサポートします。ステッパーは、高スループットの本番環境を提供し、Windows、 MAC OS、またはLinuxオペレーティングシステム上で動作します。要するに、6300Bウェーハステッパーは、高精度の表面および薄膜解析に最適であり、高精度で再現性の高い複雑なアプリケーションを処理することができます。大量生産用に設計されており、最適化されたプロセスのためのさまざまな機能を提供します。
まだレビューはありません