中古 GCA 6300B #293830722 を販売中
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ID: 293830722
DSW Wafer stepper
HP 5501A Automatic Compensator
Resolution: 500 nm
Olympus 2142 Lens
Registration tolerance: Max 0.30 um global alignment, Max 0.15 um local alignment
Maximum die size: ~15 mm x 15 mm
Minimum substrate size: ~10 x 10 mm
Hard Disk Drive (HDD)
Mask plates: 5 x 5 x 0.090", 5x Reduction, Soda lime glass.
GCA 6300Bは、半導体マイクロプロセッサや電子部品の製造に使用されるウェハステッパーです。最大0。4ミクロンの集積回路(IC)を実現します。1秒あたり最大3つのフルウェーハステップの高速動作が可能で、最大8段階の同時処理が可能です。このステッパーは30。5 cmの移動および0。0001mmの決断を有する線形段階を含んでいます。78cm x 91cmのプラットフォーム上にあり、発生するプロセスに最適な温度と雰囲気を提供する環境ハウジングで覆われています。機械は6インチのcatadioptricズームレンズの設計に基づいている機械光学システムが装備されています。レンズは、可変的な数値絞りだけでなく、高い精度と精度を提供することができます。また、オートフォーカス技術により、最適な焦点レベルを維持するために絶えず調整が行われます。さらに、ウェーハステッパー6300Bは、複雑な画像解析アルゴリズムを介して、ウェーハ検査やその他のさまざまなイメージング作業を行うことができます。欠陥のあるデバイスを特定し、その寸法を測定し、他の分析を行うことができます。また、歩留まり検証試験やウェーハ応力解析試験など、さまざまな試験を行うことができ、操作者が機器と簡単にやり取りできるグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えています。また、ウェーハ位置のアライメント、制御、ウェーハマークの検証など、さまざまなタスクに使用できるツールの包括的なライブラリもあります。全体として、GCA 6300Bウェーハステッパーは非常に強力なマシンであり、スピードと精度で幅広いタスクを実行できます。高度な光学システムにより、複雑で高品質な集積回路の製造に最適です。
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