中古 GCA 6300 #9114915 を販売中

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製造業者
GCA
モデル
6300
ID: 9114915
ヴィンテージ: 1985
Auto stepper Stored in cleanroom 1985 vintage.
GCA 6300は、チップ製造のスループットを向上させるために設計されたウェーハステッパーです。4ミラーイメージング装置と高度な光学システムを採用し、ナノスケールの精度と再現性を備えたフォトレジストコーティングされた半導体ウェーハに素早くフォトマスクを投影します。4:1の還元率を使用することで、1つのウエハに複数のダイを1つのパスに正確に配置することができます。6300ウェハステッパーは、高スループットのために設計されています。高度な多層ミラーとレーザードーナツ技術を統合した先進的な光学ユニットにより、特定のジョブの露出時間を最小限に抑え、より高いスループットを実現します。ミラーは屈曲面に個別に取り付けられているため、露出ごとに非常に高い精度と再現性が得られます。これにより、各フォトマスクをウェーハに整列させるのにかかる時間を最小限に抑えます。さらに、ウェーハステッパーの高い光スループットにより、フォトレジストコーティングされたウェーハに高解像度および高コントラスト画像を投影することができます。これにより、半導体ウェーハ上でより鮮明で定義された画像が得られ、欠陥が減り、歩留まりが改善されます。GCA 6300ウェーハステッパーはハイスループットのために設計されているだけでなく、印象的な容量も備えています。直径8インチ、厚さ0。5ミリまでのウェーハに対応可能です。これにより、1回の露出で大量の製品を生産することができます。さらに、6300ウェーハステッパーを自動ウェーハハンドリングマシンで実装し、工具効率を最大限に高めます。これにより、手動ウェーハのロードとアンロードにかかる時間を短縮し、ジョブのターンアラウンドを高速化できます。これに加えて、GCA 6300ウェーハステッパーも最小限のエネルギー要件を維持するように設計されています。低消費電力のDUVレーザーを搭載し、露光時間や画質を損なうことなくエネルギーを節約できます。したがって、6300ウェーハステッパーは、半導体製造で最高のパフォーマンスを必要とするあらゆる組織にとって理想的な選択肢です。その高度な光学資産と低エネルギー要件は、信頼性の高い生産のための強力で効率的なツールになります。
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