中古 GCA 6300 #131412 を販売中

GCA 6300は、GCA株式会社が製造する最先端のウェーハステッパー装置です。最新のプロジェクションイメージング技術を活用した高速・高精度なリソグラフィーツールです。フォトマスクで定義された回路パターンを半導体ウェーハ、光電子材料、フラットパネルディスプレイなどの基材表面に転送することができます。6300はコンデンサーのレンズの数値の開き（NA）によって定められる超高解像度のために独特なウェーハのステッピングシステムです。これにより、最大0。5 μ mのパターン要素サイズを生成できます。また、歪みを最小限に抑えるように設計されており、イメージングプロセス中のパターンサイズとアライメントのサブミクロンのバリエーションを可能にします。この精度は、高解像度のリニアエンコーダを組み合わせてステージの動きを制御するGCA 6300のスキャンステージで達成されます。このユニットは、31ウェーハ/時間の最大スループット速度が印象的で、平均サイズは6です。さらに、6300は、最大2つの写真スライドまたはフォトマスクフィルムを同時に処理できる高度なスキャナーサブシステムを備えています。これにより、オペレータは同じウエハ上でも、異なるパターンを迅速に切り替えることができます。GCA 6300も完全に自動化されており、ユーザーの操作を大幅に簡素化します。セットアップ、イメージング、アライメント、フォーカス制御、機械監視はすべて、コンピューター制御の精密マイクロモータを介して行うことができます。このツールは、リソグラフィ作業に十分な柔軟性と効率を提供します。安全とメンテナンスの面では、6300には常に安全を確保するためのさまざまな機能があります。統合された安全インターロックにより、クロス汚染のリスクを最小限に抑え、3段階のクランキング機構により、頻繁な運動による資産の疲労を防ぎます。さらに、画像解像度を向上させるために真空デガスチャンバーが組み込まれています。全体的に、GCA 6300ウェハステッパーは、幅広い基板に対して優れた結果を得ることができる高性能イメージングツールです。超高解像度、優れたスループット、自動化された操作を提供します。