中古 GCA 1696 #9214877 を販売中
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GCA 1696は、GCA株式会社が設計したウェーハステッパーです。それは顕著な精密および速度の高度のphotolithographic露出装置です。このツールは、単一の露出でウェーハ表面上の微細構造の正確な画像を作成することができます。システムの堅牢な性質により、露光時間が少ない正確な露光を行うことができます。ウェーハステッパーは、フォトリソグラフィック露光を提供する特別な光源を持っています。この光源はユーザーによって指定される露光時間のための異なったレベルの光強度を提供するために調節可能です。ステッパーの光学ユニットは、ウェーハ表面に高解像度の画像を提供するように設計されています。ステッパーは、光学系を正確に集中させるユニークなフォーカスメカニズムを備えています。これにより、可能な限り最高の精度と再現性でウェーハを露出させることができます。ウェーハは自動チャックに配置され、すべてのムーブメントは洗練されたオンボードコントローラによって最適化されます。コントローラは、所望の結果を達成するために動きの様々な軸の動きを正確に調整します。ステッパーには「接続と露出」と呼ばれる特別な機能があり、露出エラーを最小限に抑えて露出時間を素早く簡単にリセットできます。ステッパーには、露出プロセスを最適化するために設計された特別なソフトウェアも装備されています。このソフトウェアは、さまざまな種類の材料の露光時間と温度を調整することができます。また、歪みを処理し、複数の基板を収容し、均一な露出パターンを維持することができます。このソフトウェアは、スポットサイズを正確に測定することもでき、特定のパターンを生成するようにプログラムすることもできます。機械全体が非常に効率的で信頼できるように設計されています。革新的なデザインは、長い露光時間でも繰り返し可能な結果を提供することができます。このツールはまた、消費電力を最小限に抑え、非常にエネルギー効率が良いように設計されています。1696はフォトリソグラフィック露出のための高度で強力なツールです。ウェーハ表面に微細な構造物を高速かつ高精度に撮影することができます。このウェーハステッパーは、半導体ウェーハの大量生産だけでなく、デバイス製造および計測のためのインプリントリソグラフィーアプリケーションに最適です。これは、高度なフォトリソグラフィックの生産と研究のための信頼性の高い効率的なツールです。
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