中古 GCA 10 #9081982 を販売中

GCA 10
製造業者
GCA
モデル
10
ID: 9081982
Vacuum oven. 208 V/8.
GCA 10ウェーハステッパーは、半導体産業でウェーハ表面に微小回路部品を作成するために使用される高度に自動化されたデバイスです。それは光子のような放射線で、しばしば顕微鏡レベルでパターンを作成するのに役立つリソグラフィーツールの一種です。10台のステッパーは、高精度で精密な機械であり、半導体部品が高効率で高品質で生産されることを保証するさまざまな機能を備えています。GCA 10ウェーハステッパーは、ウェーハハンドリング装置、プロジェクションオプティクスシステム、コンピュータコントロールユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。ウェハハンドリングマシンはウェハを固定し、ウェハを投影光学ツールに合わせる役割を担っています。投影光学アセットには、投影画像のソース、画像をフォーカスするレンズ、シャッターとマスキングモデル、画像を回転させる画像回転装置が含まれています。最後に、コンピュータ制御システムは、ステッパーのすべての要素を制御します。これには、画像の位置、画像露出、焦点、画像の回転の制御が含まれます。10ウェーハステッパーは、非常に効率的で、納期とコストを削減するように設計されています。このデバイスは、レチクルとダイパターンの両方をウェーハに直接合わせることができます。また、高度なチップ・ツー・チップ・オートメーションにより、高速マスク交換も可能です。さらに、高速なフィールドスピードによりスループットが向上し、サイクルタイムが短縮されます。GCA 10ウェーハステッパーは、最大120ウェーハ/時間出力、最大25mmウェーハ径、最大600 ライン/mm解像度、最大0。4mmアライメント精度、最大180nmライン/スペース解像度など、幅広い機能を提供します。さらに、90nmのライン/スペース分解能で24層/ミクロンの誘電材料を使用して、幅広いウェーハ基板に高いスループットを発揮します。10ウェーハステッパーは信頼でき、制御可能な生産を提供し、品質保証を可能にします。このデバイスはまた、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、既存の生産ラインに簡単に組み込むことができます。最後に、GCA 10ステッパーは所有コストが低く、生産プロセスの合理化と生産コストの削減を目指す企業にとって魅力的な選択肢となります。
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