中古 DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500 #293654411 を販売中

DYNAMIC MICRO SYSTEMS / DMS M1500
ID: 293654411
ウェーハサイズ: 8"-12"
Reticle stocker, 8"-12" (300) Mask SMIF positions.
DMS(ダイナミックマイクロシステム)DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500は、集積回路(IC)の製造を改善するために設計された最先端のウェーハステッパーです。ステッパーは6インチと8インチの両方のウェーハを処理するように設計されており、最大105mm x 105mmの最大スキャンフィールドを備えています。この装置は、優れた基板処理を提供し、イメージング、マスキング、露出ICのための高精度ツールとして機能します。DMS M1500は、ユーザーに可変NAと可変動作距離を提供する独自の二重レンズシステムを使用しており、幅広い基板上のイメージングを可能にします。また、光学ユニットは複数の波長をサポートし、波長と波長範囲の柔軟性を提供します。ステッパーは幅広い基板をサポートし、1回の露出で最大2つの基板に対応できます。DYNAMIC MICRO SYSTEMS M1500は、高速XYステージを搭載し、高精度のアライメント、位置決め、追跡が可能です。広いスキャンフィールド、高い再現性、高速スキャンレートを備えており、スループットを最大限に引き出すことができます。ステッパーには、アライメントとキャリブレーションをサポートするPiezoステージと、精度と再現性のための高度なプログラマブルコントロールマシンも内蔵されています。M1500はユーザーフレンドリーであるように設計されており、完全な自動ウェーハハンドリングツールと簡単に使用できるWindowsベースのソフトウェアユーザーインターフェイスを備えています。また、内蔵のオートフォーカス機能と高解像度のオートフォーカス機能を備えており、精度を向上させています。ステッパーは最先端の技術を活用し、強力な上位レベルの画像処理および画像登録装置、および強力なリアルタイム画像分析システムが装備されています。DYNAMIC MICRO SYSTEMS/DMS M1500はまた、マスキング精度、優れたコントラストと解像度、および高レベルの光学スキャン精度を提供します。このユニットは、フォトリソグラフィやその他の製造プロセスでの使用に最適です。それは現代の半導体製造のための現実的で、信頼でき、そしてユーザーフレンドリーな解決です。
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