中古 CANON TFU-2000 for FPA 5500 Series #293603462 を販売中

CANON FPA 5500は、半導体ウェーハの製造・開発において高精度・高精度を実現する先進的なウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは、高度なイメージング技術とハイエンド光学機器と統合露光制御システムを活用して、正確で高解像度のイメージングを実現します。FPA 5500の光学ユニットは、2段マスク投影機を介して焦点を当てた2つの独立したビームを使用して、優れた画像精度を実現します。このツールは、最新のマスク収差補正機能を使用して、最高の画像品質の結果を提供します。CANON FPA 5500には、ファインフォーカス露出制御アセットが内蔵されており、露出時間と位置を継続的に監視し、ファインコントロールと低ノイズの露出を可能にします。ステッパーは並列プロセスユニットと超高速、ゼロ歪みデータフローモデルを内蔵しており、高いスループット速度を実現します。ステッパーはまた、ウェーハサイズと基板の範囲と互換性があるため、高い柔軟性を提供します。また、優れたアライメント機能を備えており、誤差の少ないウェーハの正確なアライメントと露出を可能にします。このウェーハステッパーには、特定のタスク用に設計された露出ツールも多数搭載されています。ウェーハの裏側を露出する裏面露出機構や、センサーライン計測装置、精度とスループットを向上させる自動登録システムなどがあります。最後に、FPA 5500はクラス10クリーンルーム環境内で動作するように設計されており、ウェーハステッパー操作のためのほこりのない環境を確保します。CANON FPA 5500は、包括的かつ高性能なウェーハステッパーとして、半導体ウェーハの製造および開発において高い精度と精度を保証します。その高度なイメージングと統合露光制御機能により、あらゆる半導体生産環境に最適です。