中古 CANON MS800 #9409285 を販売中

CANON MS800は、半導体加工で使用される業界トップクラスのウェーハステッパーです。高効率光学装置を採用し、高い精度とスピードを実現しています。また、高度な自動サンプリング機能を備えており、アライメントと露出の精度を確保します。この機械は、大規模な生産だけでなく、R&Dアプリケーションにも最適です。高速露光用の超短焦点距離レンズと、均一露光用の広い露光フィールドを備えています。これにより、より高い感度レベルで露出が行われたときに、歪みを最小限に抑えて最大の精度を保証します。この機械は、環境振動が露出精度に与える影響を最小限に抑えるために、統合された振動絶縁システム（VIS）を備えています。さらに、高精度なアライメントを実現するフレキシオン低減ステージとクリップカバーユニットを備えています。キヤノンの高度な露出制御装置により、露出毎の露出設定を高精度に微調整できます。このツールは、ウェーハ表面の変化を補正するために露出をリアルタイムで調整できるフィードバックを提供します。MS800には、露出の焦点面を検出および調整する12ゾーンマトリックスを備えた高度なオートフォーカス資産があります。このマシンはまた、3次元アライメントと自動露出制御を提供しています。このマシンは、ウエハ表面の欠陥を検出するのに役立つ統合ビジョン検査モデル（VIP）を備えています。このビジョン装置には、高解像度カメラと画像処理アルゴリズムが搭載されており、詳細で正確なレポートを提供します。これにより、そうでなければ気づかないであろう微細な欠陥を検出することができます。このマシンは、高度な静電充電システムでクリーンな環境を維持することができます。これは、露出プロセスの精度を維持するのに役立ちます。また、特殊なブラシを使用してステッパーの表面をきれいにする統合表面クリーニングユニットを装備しています。これは、クリーンな生産ウィンドウを確保し、汚染を防ぐのに役立ちます。また、汚染のリスクを最小限に抑えるフォトレジスト除去機を内蔵しています。このツールは、フォトレジスト除去プロセスの複雑さに応じて、真空または分光圧力によって駆動できます。CANON MS800ウェーハステッパーは、半導体部品の量産に特化した最先端生産機です。製品の品質を維持するためのさまざまな機能を使用して、効率的で正確で信頼性の高い操作を提供します。