中古 CANON M31016 #9409288 を販売中

CANON M31016は、半導体製造プロセスでよく使用されるトップレベルのウェーハステッパーです。これは、ステップアンドスキャンシステムと従来のステップアンドリピートシステムの両方の利点を組み合わせた高度な歴史作成システムです。M31016は、フォトマスクとウェーハの反射率を低減し、画質を向上させる強力なWyko反射防止コーティングステージを備えています。照明器設計の改良により、精密ポイントポジショニング技術は6nmの分解能と0。1 µmの精度を実現しています。5軸ステージにより、より大きな視野を確保します。外付けスキャナは、0。001mmまでの精度でモーションコントロールを追加し、8インチ以上の幅のウェーハを容易に扱うことがM31016ます。M31016は、0。25mmまでの薄型ウェーハの加工も可能で、精度は0。02 µmです。最大135ミリ秒のハイエンド露光時間を提供し、1。2 nmの優れた解像度により、フォトマスク印刷やリバースエンジニアリングなどのアプリケーションに最適です。高度なエラー防止アーキテクチャは、ツール操作にリアルタイムのフィードバックを提供する高度なビデオ検査システムによってバックアップされ、時間後に再現可能で高精度な結果を保証します。キヤノンのM31016には、包括的なメンテナンスおよび校正プログラムが含まれており、ユーザーはツールのパフォーマンスを向上させ、システムのダウンタイムを削減できます。OPCの効率的な監視アルゴリズム（モデルベースのプロセス補正）により、リソグラフィーホットスポットコントラストが改善され、迅速な収束によりOPC精度が向上し、生産性が向上します。優れた自動化機能により、M31016は人員入力を大幅に削減し、少ないリソースで生産性を向上させることができます。また、GDSF （Geometrically Decladed Site Feature：幾何学的に宣言されたサイト機能）ソフトウェアもM31016しています。専用のデータ分析ツールである5D Architectも付属しており、GDSF形式で詳細なデータ可視化を行い、生産プロセス全体を最適化することができます。結論として、M31016は半導体製造に最適なトップレベルのウェーハステッパーです。その高度な機能は、最小限の人員入力で高精度の結果を保証し、それは強力で効率的なツールになります。