中古 CANON i4 #293827042 を販売中

CANON i4は、ウェーハステッパー技術を活用したステップアンドリピートスキャナで、1つのウェーハ上に複数のマイクロエレクトロニクス機器を迅速に製造します。フォトリソグラフィー、マイクロマシニング、コンタクトマスキング、その他の精密フォトリソグラフィープロセスなど、多くの用途に使用されています。CANON I 4は完全自動化されており、最大4インチのサイズのウェーハに対応できます。明るい白色光源を搭載し、サブミクロンレベルの解像度を備えています。ステッパーは、自動露出制御のためのPC互換ソフトウェアを使用して機器の簡単なプログラミングを可能にします。ステッパーは、独自に設計された金属製ベースと、最大限の安定性を実現するダブルカラム構造で構成されています。高精度なアライメントとデバイスパターンの露出を実現する高品質の光学素子を提供します。また、2インチ厚のコリメートレンズ、オートフォーカスメカニズム、およびスキャンおよび露出プロセス中の紫外線被曝の可能性を排除するフィルタマシンを装備しています。I4には、32ゲートのそれぞれを個別にプログラムできる高精度ゲートアレイが搭載されています。これにより、ステッパーは正確な精度と1％の精度で各ステップを生成±ことができます。ステッパーには、スキャンおよび露出プロセスの精度を継続的に評価する「リアルタイム」光学モニタリングツールが組み込まれています。これにより、各ステップが可能な限り最高の精度を生み出し、周囲の環境がプロセスの精度を妨げないようになります。I 4は5年間の保証でサポートされ、ゼロリーク環境で動作するように設計されています。CANON i4はスケーラブルなモジュール化された構造で、必要に応じて容易に適応およびアップグレードできます。キヤノンでは、現地でのトレーニングや、資産の修理・メンテナンスサービスを提供しています。