中古 CANON FPA 6300 #9389983 を販売中

CANON FPA 6300ウェハステッパーは、半導体製造業界で使用される高度なリソグラフィーツールです。その精度と性能は、さまざまなアプリケーションにとって魅力的な選択肢です。高度なパターニング、露出抵抗、エッチング処理に使用できます。FPA 6300には、効率的で正確な機能がいくつかあります。電動ズームレンズと最大フィールドサイズ25mm×25mmのステップアンドリピート装置を備えています。複雑な幾何学的形状のウエハをパターン化する際に高精度を実現します。オートアライメントシステムを搭載し、自動的にフォーカスを再調整し、最適な精度を実現します。ステッパーには、最小の幾何学的誤差でも検出できる高度なパターン認識ユニットもあります。これにより、リソグラフィにおける最高の忠実度が保証されます。CANON FPA 6300は、熱効果を低減するダブルパルス幅変調機を採用しています。これは、ウェーハへの放射線の影響を軽減するのに役立ちます。ステッパーはまた、最大加速度10m/s2のリニアステージを備えており、ウェーハ全体の高速で滑らかな動きを提供します。また、12 msecの高速スキャンタイムを備えているため、スキャンタイムが短く、スループットが高い。また、FPA 6300には独立したレーザーフォーカスツールがあり、アライメントのセットアップと必要な時間を削減します。この結果、高い焦点精度と信頼性が得られ、一貫性のある高品質の結果が得られます。また、自動ゲイン制御を備えており、レジストの最適な過剰露出を保証します。CANON FPA 6300は、高精度で高速なステッパーです。その高度な機能は、半導体メーカーに競争力を提供し、より短い時間でより高い歩留まりを達成することができます。これにより、最終的にはコストが削減され、製品品質が向上し、顧客満足度とブランドロイヤルティが向上します。