中古 CANON FPA 6300 #293597782 を販売中

CANON FPA 6300は、高精度の光学リソグラフィープロセスを提供するように設計されたウェハステッパーです。キヤノン独自のレーザー干渉計Mirror Aligning （LIMA）技術を搭載しており、個々の表面形状を素早く正確に調整できます。これにより、FPA 6300はナノメートルスケールまでの解像度で優れた画質を提供することができます。また、キヤノン独自のPSM （Projection Scanning Microscope）装置を搭載しており、ウェハ上のスキャン露出を正確に制御することができます。また、高速かつ高精度なウェーハアライメントを可能にし、最高画質のウェーハを適切に露出させることができます。また、CANON FPA 6300はモジュラー設計を採用しており、さまざまなワークフローに対応することが可能です。モジュラーコンポーネントは、単層および多層リソグラフィープロセスの両方に使用できます。また、モジュラー構成により信頼性が高く、メンテナンスのダウンタイムが短縮されます。FPA 6300のその他の機能には、デバイスのエネルギー消費を大幅に削減するEnergy Save Modeと、チャンバー内の清浄度レベルを容易に維持できるClean Set Modeがあります。また、動作時の振動の影響を軽減する低振動ユニットと、より安定したウェーハ露出を実現する大型スリットパネルを備えています。また、CANON FPA 6300は、ウェーハのバッチ処理を可能にする高度な自動ウェーハ処理機を搭載し、全体の処理時間を短縮します。このツールはまた、手作業を削減し、これにより全体的な効率が向上し、デバイスがより速い速度でより正確なリソグラフィを生成することができます。全体として、FPA 6300は高度かつ高度に考察されたウェーハステッパー資産であり、最小の微細な画像から最高の精度を得ることができます。その革新的な技術と高度な機能により、生産能力と効率の両方で卓越性を提供することができます。