中古 CANON FPA 6000 #293587902 を販売中

CANON FPA 6000は、高解像度光学リソグラフィ装置を搭載した先進的なウェハステッパー装置です。半導体製造用に設計されており、さまざまなウエハ基板上で高精度なパターンを生成することができます。FPA 6000は、193または248nmの波長のターゲット光ビーム出力と、最大16Wの可変レーザ出力を提供します。これにより、広範囲のリソグラフィープロジェクトで使用することができ、スペクトル補正レンズシステムでさまざまなパターンを作成することができます。リソグラフィの精度を高める最新のデジタル画像処理技術を搭載し、既知の最小の画像を半導体ウェーハなど様々な表面に正確かつ正確に再現することができます。統合された画像処理は、ラインとスペース、接触、穴などの最小パターン機能の最適化と正確な配置を提供します。CANON FPA 6000には、露出ごとに望ましいウェーハ位置を正確に維持できる2段オートアライメントユニットが装備されています。さらに、FPA 6000は、共軸リソグラフィにも使用でき、1Xや7X倍率のバリエーション、自動ズーム、オートシフトなど、さまざまな高度な機能を備えています。このデバイスは、パターン形状、サイズ、深さを効果的かつ正確に制御するために使用することができるマルチパルスおよび二重露出を含む、さまざまな露出技術やパルスを実行することもできます。このデバイスは、信頼性が高く洗練された顕微鏡と3次元アライメントスキャナも備えています。これにより、ウェーハ上のパターンを0。5ミクロンの最大精度で整列させ、ウェーハ位置決めで3ミクロン未満の再現性を確保することができます。CANON FPA 6000は、スピンコーティング、開発、後処理にも使用できます。これには、電気めっき、化学エッチング、さまざまな材料の湿式または乾式パターンが含まれます。全体的に、FPA 6000は、最適化された正確な結果を提供する高精度で信頼性の高い洗練されたウェーハステッピングデバイスです。その高度な機能、高精度なイメージングマシン、自動アライメント機能、および複数の露出設定により、さまざまなプロジェクトに便利で汎用性があります。