中古 CANON FPA 6000 ES6a #9384057 を販売中
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CANON FPA 6000 ES6aは、半導体業界で使用するために設計されたウェーハステッピングマシンです。このマシンは、集積回路の生産において高精度で再現性のあるウェーハを製造する費用対効果の高い手段を提供します。このマシンは、高度な静電リソグラフィーシステムを使用して、非常に微細な解像度でフォトリソグラフィーを実行し、重要なステッピングエラーを減らすことができます。CANON FPA 6000ES6Aは、200mmのフラットベッドアライナーと反射防止被覆対物レンズを備えているため、非常に広い視野であらゆるデザインの製造を可能にします。これにより、機械は従来のステッパーよりも優れた精密な視野を提供することができます。ICチップによるフォトリソグラフィープロセスに必要な両面アライメント精度を実現します。また、スチールとセラミックキャリアの両方で安定した正確なウェーハアライメントを保証する2チャンネル連続アライメントシステムも内蔵しています。FPA-6000ES6Aに手動および半自動操作モードが付いているステッピングコントロールユニットがあります。このマシンはPLCまたはコンピュータプログラムで操作でき、完全自動生産システムのための産業用ロボットやその他の生産設備と統合することができます。この機械は、高度な真空能力を備えており、卓越したリソグラフィ結果を生成する低テーブル圧力を提供します。さらに、汚染の可能性を低減するための特別な自動クリーニングユニットが装備されています。FPA 6000 ES 6 Aは、さまざまなステッピングゲージシステムと組み合わせて使用することができ、最も困難なアプリケーションで正確で反復可能な結果を提供します。グラフィカルディスプレイを備えた直感的なジョイスティックコントローラは、複雑な手順の必要性を排除し、ユーザーが簡単にマシンを制御することができます。また、FPA 6000ES6Aは、半減、四半期減少、第八減少という3つの削減タイプを選択できます。この品種は、マイクロマシニングやナノファブリケーションなど、幅広いリソグラフィ用途を可能にします。全体として、CANON FPA 6000 ES 6 Aは正確で信頼性が高く、費用対効果の高いウェーハステッパーであり、優れた性能と高い運用効率を提供します。自動クリーニングユニット、高度な真空能力、3つの還元タイプ、直感的なジョイスティックコントローラを備えたこのマシンは、フォトリソグラフィープロセスを成功させるために必要なすべての機能を備えています。
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