中古 CANON FPA 6000 ES6a #9305230 を販売中

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ID: 9305230
ウェーハサイズ: 12'
ヴィンテージ: 2005
KrF Scanner, 12" Wavelength: 248 nm CYMER ELS-7310 Laser Magnification: 1/4 Illumination NA: 0.86, σ 0.95 to 0.25 Annular ratio: 1/2 to 3/4 Opening angle: 90 XY Dipole illumination TEL Lithius track interface Lens data Illumination optical system: AFIS Input switching: 15-Tier turret Aperture1: 13-Tier turret Aperture2: 4-Tier turret Projection lens NA: 0.55 - 0.86 LIPS Focus Alignment system: FRA Reticle alignment AGA Wafer alignment Reticle SMIF loader: PPC Reticle barcode reader (2D), 6" OMRON Tag reader Relay FOUP Right inline Wafer type: Notch, 12" Cool plate before exposure (WTC) Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6aウェーハステッパーは、半導体製造に使用される汎用性の高いユーザーフレンドリーなリソグラフィ機です。ハイエンドイメージング機器のリーディングメーカーであるキヤノンが製造する専用ウェハステッパーです。この機械は高精度および高い生産性のために設計されています。光学部品とコンピュータ制御のユニークな構成により、サブミクロン分解能で優れたウェーハパターンを生成できます。このデバイスは、コンピュータ制御の平面調整を備えた最先端の回転スキャンメカニズムを備えており、効率的で正確なマスクとウェーハのアライメントを可能にします。大小の視野をシームレスに切り替えることができるES6aは、比類のない柔軟性を提供します。デバイスの光学モジュールは、投影パターンが例外的な忠実度であることを保証するレンズの大規模な複数を装備しています。このシステムは、業界標準のGDSIIデータフォーマットと完全に互換性があり、サードパーティ製ソフトウェアとのデータ転送と互換性を容易にします。印象的な性能に加えて、CANON FPA 6000ES6Aも簡単で直感的な操作のために設計されています。このシステムは、露出からアライメント、ステッパー/スキャナ制御まで完全に自動化されているため、手動での介入が不要です。さらに、このマシンはエンジニアにとって人間工学に基づいて設計されており、幅広いオペレータ制御オプションがあります。露出設定、フォーカス位置、モーションコントロールパラメータなどの調整は、すべてインターフェイスから簡単に調整できます。FPA-6000ES6Aにより、オペレータの入力と労力を最小限に抑え、完璧なパターンの迅速かつ正確な生産が保証されます。最先端の光学設計、比類のない精度、操作性を備えたCANON FPA-6000ES6Aは、大量の半導体製造に最適です。
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