中古 CANON FPA 6000 ES6a #9296967 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、半導体デバイスプロセス用のリソグラフィックおよびフォトマスクパターン生成用に設計された高精度ウェハステッパーです。ステッパーは、5インチ（127mm）および8インチ（203mm）のウェーハに最大2,040ピクセル/インチ（80,000 pixels/cm2）の解像度で、0.11µmのような複雑な高密度特性をイメージングすることができます。また、高度な超大型集積（VLSI）デバイス用の0.07µmの最小デバイス機能サイズを生成することもできます。ステッパーは、最高の精度と信頼性のために設計された高級材料で構成されています。CANON FPA 6000ES6Aは、全自動アライメント装置を備えており、より大きなウエハフィールドを撮影する際に、正確なウエハの位置決めと歪み制御を行い、フルフィールドの平坦性を維持します。レーザー干渉計の特徴によって、ステッパーは正確にイメージ投射の正確さを保障するためにすべての重要な部品の位置を測定します。さらに、この機械の高度なイメージングシステムは、サブミクロンレベルの精度で可変速度で動作し、狭い線や密なパターンなどの最も困難な機能をイメージングすることができます。本機は、5インチおよび8インチのウェーハ全体に均一な照明を提供できる高分解能、低温放射、長波長（ELW）光学ユニットを搭載しています。さらに、ステッパーには、光の干渉による画像への不要な影響を防ぐように設計された反射防止コーティングが施されています。ダイナミックイメージングのために、ステッパーは、画像品質を向上させるために最大1,000倍の忠実度と解像度を提供することができる3次元（3D）スキャン技術に依存しています。また、動作環境は、最適な温度と湿度範囲を備えているため、イメージング能力が向上します。また、動作中の機械の安定性を維持するように設計された振動分離機も備えています。FPA-6000ES6Aは、マスクレスリソグラフィおよび光学近接補正操作を優れた画質で提供するための調整可能なステージを備えています。さらに、ステッパーは、さまざまなリソグラフィ用途に最適なイメージングプロファイルを提供するために最大5つの照明モードを使用します。さらに、基本操作用のイーサネット接続と高度な設定用の専用コントロールパネルインターフェイスを介してホストコンピュータに接続するように設計されています。