中古 CANON FPA 6000 ES6a #9296965 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、CANON ES Equipment DevelopmentシリーズのES for Efficient Solutionsの一部であるウェーハステッパーです。CANON FPA 6000ES6Aウェーハステッパーは、効率的かつ正確なウェーハレベルのデバイス生産のために構築されています。最小フィーチャーサイズは0。25ミクロン、メカニカルアライメント精度は0。5ミクロンです。高いスループットと再現性により、高精度IC、パッシブコンポーネント、MEMS、バイオセンサーなど、さまざまなデバイス製造プロセスに適しています。ステッピングコントローラは最大30個のプロセスレシピを保存することができ、異なるデバイスコンポーネント、プロセス、基板を迅速かつ効率的に切り替えることができます。ステッパーは移動可能な5軸マスクテーブルと基板ステージを備えています。マスクテーブルは様々なマスクサイズに対応するように設計されており、高精度なアラインメントのために基板とマスクを直接整列させることができます。移動可能な基質の段階は300mmまでの基質が場所で荷を積まれ、しっかり握ることを可能にします。FPA-6000ES6Aは、レーザー波長を利用して露光時間を短縮し、より高いスループットを実現する新しいFluoro Scannerを備えています。また、シングルウェーハ露出、マルチエリア露出、レーザースキャン露出など、さまざまな露出モードを提供しています。パワフルなイメージングシステムは、パターニングエラーを低減し、高解像度のパターンを実現します。ステッパーには、特定のデバイスを対象とすることができる2つの異なる露出エネルギーから選択できる2段階の振幅ユニットが含まれています。ステッパーはまた、ユーザーがオペレータの介入なしにプロセスレシピを開始することができます自動プロセスの開始などの高度なオートメーション機能を提供しています。Auto Focusモジュールは、露出ごとにマスクと基板を最適に配置するのに役立ちます。Auto Reticle Change機能を使用すると、スループットと信頼性を向上させるために、レチクルをすばやく変更できます。オートレチクリーニングマシンは、ユーザーがレチクルを汚染やほこりのないようにすることができます。全体的に、FPA 6000 ES 6 Aウェーハステッパーは、高精度デバイスの製造のための強力で効率的なソリューションです。高速なスループット、再現性、簡単にプログラム可能なソフトウェアによる高度な制御を提供します。また、さまざまな高度なオートメーション機能と高度なイメージング機能を備えているため、ウェハレベルのデバイス生産に最適です。