中古 CANON FPA 6000 ES6a #9296964 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、半導体製造においてフォトリソグラフィに使用される6インチウェハステッパーです。他のウェーハステッパーと比較して非常に高い精度、精度、およびスループットを実現します。これは、世界中の半導体施設の好ましい選択になるいくつかのユニークな機能を備えています。CANON FPA 6000ES6Aの最大の特徴は、6インチのイメージセンサーです。このセンサーは、各ピクセルの非常に細かいディテールをキャプチャするように設計されており、非常にタイトな登録と正確なオーバーレイリソグラフィを可能にします。このセンサはまた、最大36mmの驚異的な視野を提供し、ウェーハ表面全体を完全にカバーすることができます。これは、現代の大規模な半導体製造プロセスにとって特に重要です。FPA-6000ES6Aは、最新のアライメントハードウェアとソフトウェアも備えています。0.10µmの精度でウェーハを配置するための非常に精密で正確なステージシステムを備えています。これにより、各露出が行われる前にウェーハがステージ上に適切に配置されます。CANON FPA-6000ES6Aは、光源の波長よりも小さい機能や、光の波長よりも大きい機能のさらなる露光ステップにおいて、最小限の線幅を0.25µmする高精度リソグラフィが可能です。最終的に、FPA 6000ES6Aは利用可能な最速のウェーハステッパーであり、最大80ウェーハ/時間のスループットを達成します。この優れたスループットにより、半導体設備は製品を迅速に市場に投入することができます。全体として、CANON FPA 6000 ES 6 Aは、先進的な半導体製造プロセスのための卓越したウェハステッパーです。最先端の6インチイメージセンサー、精密なアライメントハードウェアとソフトウェア、高速スループットにより、貴重な機器となっています。