中古 CANON FPA 6000 ES6a #9293799 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aウェーハステッパーは、集積回路（IC）の製造に使用される最先端の紫外線リソグラフィーシステムです。このマシンは、高度なレーザー光学系、高精度の6軸ステージ、および自動カセット搬送を組み合わせて、スループットを向上させ、ウェーハ処理時間を短縮します。この機械は、15ナノメートルの小さな機能を生成することができ、高密度集積回路、メモリデバイス、およびオプトエレクトロニクス部品の製造に適しています。CANON FPA 6000ES6Aは、励起源として193nmのArFレーザーを備えており、業界標準のKrFリソグラフィよりもはるかに高い解像度を可能にします。レーザーは、高精度の光学コリメータと6軸ミラーステアリングアセンブリを使用して焦点を合わせ、指示されます。これは、ビームをナノメートル仕様内に正確に配置することができます。高解像度レーザースキャナーを内蔵しており、露出前に適切な位置に正確にウェーハを固定することができます。また、自動カセットトランスポートシステムを搭載しており、ウェーハのシステムへの迅速な積み降ろしが可能です。これにより、各サイクルで複数のウェーハを処理することができ、スループットが大幅に向上します。さらに、ウェーハフリッパーを搭載しているため、ウェーハをカセットからステージに素早く移動してステージに戻すことができます。全体として、FPA-6000ES6A Wafer Stepperは半導体加工のための有効で、信頼できる用具です。高度なレーザー光学、6軸ステージ、自動化されたカセットトランスポートを組み合わせることで、優れたウェーハ処理能力を発揮します。複雑で高密度なICやメモリデバイスの製造に適しており、現代の半導体製造業界において非常に貴重なツールとなっています。