中古 CANON FPA 6000 ES6a #9281803 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、高精度かつ高性能なウエハステッパーで、高精度なナノスケールパターニングが可能です。特に半導体業界においては、高い精度と再現性を備えた極めて微細なパターンを生成することができます。このES6aは、超短パルス（USP）レーザー技術を使用して、16nm間隔までのパターニングを生成します。また、高解像度デバイスのための高度なリソグラフィ技術の範囲を採用しています。PAT-TMアライメント装置は、露光中の正確なアライメントを可能にし、可能な限り正確なパターニングを可能にします。実証済みの信頼性の高い振動ステージ駆動システムは、ウェハを正確かつ正確に再現可能な方法で移動します。また、キヤノンの特許取得済みの「コンパクトステップ」を搭載しており、露出工程の作業時間を短縮します。イメージングユニットは、さまざまなイメージングフォーマットをサポートできるステッパーと、エッジ位置決めパルスを使用しています。分離された粒子の位置と存在を様々なセンサーで素早く確認し、高感度画像機で粒子のサイズを測定します。補助光学を使用して、操作全体のリアルタイム監視を行うことができます。ES6aは、ガス制御を内蔵したフローティングクォーツ/セラミックチャンバーとロープロファイルチャックを備えた高効率ウェーハステッパーです。これらの機能により、ライン幅の最適な再現性、スループットの向上、全体的な品質向上のための安定したパターニングが可能になります。さらに、独自の超高Light™レーザー蛍光モニター（SLF）により、正確なウエハフォーカスとパターンのオーバーレイ欠陥がすべて制御されています。また、感光性材料の集積など多種多様な欠陥を検出することが可能です。このES6aは、非常に再現性が高く、非常に微細で正確なナノスケールパターンを生成することができる、丸みのあるウェーハステッパーです。これは、優れた品質を維持しながら、確実に生産スループットを向上させることができる、半導体業界で不可欠なツールです。