中古 CANON FPA 6000 ES6a #9247815 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、メーカーの厳しい要求に応えるために設計された高性能ウェーハステッパーです。ES6aは、精度、速度、信頼性を考慮して設計された自己完結型の機器です。このES6aは、高解像度の画像と正確なパターニング機能により、半導体製造プロセスで使用されるウェーハステッパーに最適です。120ナノメートルまでのパターニングフィーチャーサイズに適しており、より小型で複雑な集積回路を作成できます。ES6aは、4インチから8インチまでのさまざまなウエハサイズで動作するように設計されています。独自のVariable Daylight System （VDS）ソースを搭載しており、幅広いウェーハで一貫したイメージングが可能です。また、VDSは運用中の再検討の必要性を排除し、スループットとワークフローの効率を最大化します。ES6aは、3。5ミクロンのレーザースポットサイズを使用して画像精度を向上させる高解像度スキャンユニットを採用しています。また、複数のイメージングフォーマットを提供する高度な光学機器を備えており、効率的かつ包括的なパターン生産を可能にします。ES6aはCANON独自のA&Cオートキャリブレーションプロセスで設計されており、正確なパターニングとイメージングを保証します。オートキャリブレーションシステムにより、パターニング作業中のセットアップ時間が短縮され、信頼性が向上します。ステッパーには、ステージポジションや露出強度などのプロセスパラメータを監視し、操作の容易さを確保する高度なウェーハ情報ツールもあります。このES6aには、ウェーハへの偶発的な損傷を防ぐ強力でユーザーフレンドリーなインターロックアセットが装備されています。また、高度なウエハレベルのマッピングにより、正確なパターン配置と再現可能なパターン配置を保証する位置検出モデルを提供します。このES6aは、精度とスループットを必要とする生産作業に理想的なウェーハステッパーです。高精度で再現性のある高品質な画像やパターンを生成することができます。その数多くの高度な機能により、コストを最小限に抑えながら効率と生産性を最大化できます。