中古 CANON FPA 6000 ES6a #9235776 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aウェハステッパーは、高度なリソグラフィ用途に使用される新しいタイプのツールです。ウエハを高精度・高精度にパターニングすることが可能です。真のイメージングレンズ装置を使用することで、露光プロセスの精度と解像度が大幅に向上します。CANON FPA 6000ES6Aはオールインワン設計で、汎用性の高い高精度イメージング光学システムを搭載したステッパーです。この光学ユニットは、正確なウェーハパターニングを保証するように設計されています。FPA-6000ES6Aは、最大21mm×21mmの投影画像サイズ、0。70の数値開口を持つ投影機、焦点の深さを変えるための可変焦点システムを備えています。さらに、ステッパーにはCYD光学系が付属しており、露光プロセス全体に画像が焦点を当てていることを保証します。このデバイスには、ウェーハクランプ、投影アライメント、デガ、イメージレチクル移動、オートフォーカスツール、ステッパー移動、検出アセットなど、露出プロセスのさまざまな段階が装備されています。これらのすべてのステージは、リソグラフィ処理時間全体を短縮するように設計されています。CANON FPA 6000 ES 6 Aにはプログラム可能な露出時間があり、パターニングプロセスごとに露出時間を簡単に制御できます。キヤノンFPA-6000ES6Aは非常に細かい特徴パターンが可能です。最大解像度は0。26 μ mで、ウェーハの非常に正確で正確なパターニングを保証するように設計されています。また、ウェーハ表面のフォトマスクを高精度にオーバーレイすることも可能です。FPA 6000のES6aは非常に信頼でき、ユーザーフレンドリーです。それは容易な維持を可能にし、高い再現性のレベルがあります。さらに、非常に短時間で高品質なパターンを生成できるため、高生産および大規模生産用途に最適です。