中古 CANON FPA 6000 ES6a #9227778 を販売中

CANON FPA 6000 ES6aは、半導体ウェーハ製造用に最高品質のフォトマスクを製造するために設計された最先端の高解像度マシンです。これは、ステップとリピート/レーザーアライメント/パターンジェネレータ/超高精度と高解像度を備えたオーバーレイ測定装置です。このマシンは、0。18 µm （7。5 nm）までの機能の生産に最適です。複数の露出オプション、露出アライメント、軸外アライメント、オーバーレイ精度、クロスフィールドアライメントなど、幅広い機能を提供します。CANON FPA 6000ES6Aは、優れた機能、オプション、革新的な技術を提供しており、先進的なチップやその他の半導体ウェーハの製造に最適です。機械の主なコンポーネントは、高分解能レーザーステッパー、アライメントステーション、リニア位置決めシステム、統合レーザーパターンジェネレータ、大容量ウェハステージ、調整可能なフォーカシングユニット、包括的な制御マシンです。光学ツールは、コントラストと解像度を向上させるためのほぼ回折限界光学系、露出画像アライメントモデル、優れたオーバーレイを提供するユニークなビームスプリッタを備えた内蔵レーザパターンジェネレータ、および0。18 µm （7。5 nm）までの機能を生成するときに最適なオーバーレイ精度のための減磁装置で構成されています。新たに開発されたオフアクシスアライメントシステムは、オーバーレイ測定とクロスフィールドアライメントのための最高の精度と精度を提供します。FPA-6000ES6Aは専用ソフトウェアも備えており、マシンのすべての組み込み機能とオプションを制御できます。これは、優れた生産性と画質をユーザーに提供するために、簡単なナビゲーションと操作のために設計されています。オプションのオートパターンジェネレータを使用すると、ステッパーの露出ユニットの各ステージにパターンファイルをすばやく作成およびロードできます。自動化されたオーバーレイ補償システムにより、高精度でオーバーレイ機能を登録するために、正確なマルチエクスポージャーのアライメントが可能になります。チップ・オン・ア・ウェハの欠陥修復や、オプションとして提供される1つのチップ上のパターンの繰り返しのためのトラック修復など、より高度な機能にアクセスできます。FPA 6000ES6Aは、高精度の工業生産、高度なウエハレベルのパッケージング、オプトエレクトロニクスなど、さまざまなアプリケーションに最適です。高解像度イメージングとオーバーレイアライメントオプションを選択できるため、生産歩留まり、精度、信頼性の向上に適しています。精密かつ高品質なウェーハの製造において最大限の性能を必要とする半導体業界の高品質企業に最適です。